精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-Z-5XX是一款楔形结构的精密Z轴，高精度和高动态响应用于飞秒激光加工、半导体加工及检测、基因测序、3D打印以及其它高端应用行业。

结构特点

RBN-Z-5XX精密Z轴，直驱楔形平升结构，无丝杆、联轴器等中间传动装置，提高结构模态，实现高动态响应。防蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱为线线接触，交叉排列，多方向受力稳定，运行时平稳，出色的定位精度、重复定位精度和定位抖动。

直驱设计

应用证明只有非接触式直驱技术，才能满足快速调整应用。这种结构具有高动态性能、零齿槽、电子噪声小等特点。电机和导轨封装在一个小体积中，在许多应用中提供了明显的优势，要求动作平稳精确，如高精度、快速整定等应用。

精度性能

该结构满足Z方向的高精度定位，实现定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±1μm，Pitch ±7.5arc sec, Roll Yaw ±5arc sec。

柔性设计

可以单轴使用，也可以组装到其它轴搭配成多轴系统，实现灵活应用。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBN-Z-5XX
行程 Travel		mm	5
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05
	高精版 Plus		±0.1
	普通版 Standard		±0.2
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±15
	高精版 Plus		±25
	普通版 Standard		±50
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.025
	高精版 Plus		±0.05
	普通版 Standard		±0.1
直线度⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±1
	普通版 Standard		±1.5
俯仰 ⁽¹⁾ Pitch	高精版 Plus	arc sec	±3
	普通版 Standard		±7.5
翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5
	普通版 Standard		±5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
微动步距 Min Incremental Step	高精版 Plus ⁽³⁾	nm	≤ 1
	普通版 Standard		≤ 50
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus ⁽³⁾	nm	≤ 1
	普通版 Standard		≤ 50
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁴⁾		mm/s	50
最大负载 Max Load		kg	3

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，普通版振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精测测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1.取决于平台安装表面的平面度。

2.电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3.高精度版振动等级为VC-F。

4.空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

选型信息

型号	RBN-Z	-5XX	-N	-N	-1	-0	-DB	-3	-N
描述	精密楔形Z轴	行程5mm	标准值	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米	常压环境

名称	型号	描述
精密Z轴	RBN-Z	精密楔形机构Z轴
行程	-5XX	行程5mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-U	零点在行程上极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-D	零点在行程下极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆管理	-C4	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VAC	真空环境