菜单
退出
报价单为空
RBN-Z-5XX系列精密Z轴
直线电机驱动
定位精度±0.1μm
采用楔形结构设计
双向重复定位精度±50nm
纳米级微动步距
高动态响应性能
RBN-Z-5XX系列精密Z轴
RBN-Z-5XX系列精密Z轴
RBN-Z-5XX系列精密Z轴
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
下载
报价/订购
应用领域
RBN-Z-5XX是一款楔形结构的精密Z轴,高精度和高动态响应用于飞秒激光加工、半导体加工及检测、基因测序、3D打印以及其它高端应用行业。
结构特点
RBN-Z-5XX精密Z轴,直驱楔形平升结构,无丝杆、联轴器等中间传动装置,提高结构模态,实现高动态响应。防蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱为线线接触,交叉排列,多方向受力稳定,运行时平稳,出色的定位精度、重复定位精度和定位抖动。
直驱设计
应用证明只有非接触式直驱技术,才能满足快速调整应用。这种结构具有高动态性能、零齿槽、电子噪声小等特点。电机和导轨封装在一个小体积中,在许多应用中提供了明显的优势,要求动作平稳精确,如高精度、快速整定等应用。
精度性能
该结构满足Z方向的高精度定位,实现定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±1μm,Pitch ±7.5arc sec, Roll Yaw ±5arc sec。
柔性设计
可以单轴使用,也可以组装到其它轴搭配成多轴系统,实现灵活应用。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBN-Z-5XX

行程 Travel

mm

5

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

普通版 Standard

±0.2

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

普通版 Standard

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±1

普通版 Standard

±1.5

俯仰

Pitch

高精版 Plus

arc sec

±3

普通版 Standard

±7.5

翻滚、偏摆

Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1.5

普通版 Standard

±5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus*

nm

≤1

普通版 Standard

≤50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus*

nm

≤1

普通版 Standard

≤50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

最大负载 Max Load

kg

3

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

* :高精度版振动等级为VC-F。

实测数据
选型信息
型号 RBN-Z -5XX -N -N -1 -0 -DB -3 -N
描述 精密楔形Z轴 行程5mm  标准值 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
精密Z轴 RBN-Z 精密楔形机构Z轴
行程 -5XX 行程5mm 
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VAC 真空环境
下载
产品样本
RBN-Z-5XX系列精密Z轴产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
RBN-Z-5XX尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
报价/订购
RBN-Z-5XX
行程5mm,直驱楔形平升结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm
添加至报价单
RBN-Z-5XX PLUS
行程5mm,直驱楔形平升结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm
添加至报价单
询问工程师
通过电子邮件或电话从销售工程师处快速获取解答
15201018092
sales@aus-precision.com
联系我们
相关产品
温馨提示
请登录后进行下载