精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台用于曲面飞秒激光加工。

产品简介

XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，XY轴平面式结构，最大限度降低高度，减小系统误差影响；此外XY轴可定制抱闸功能，抱闸位置漂移可控制在10nm内。
Z轴直驱力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，获得纳米级定位纹波；
AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向跳动和倾角误差，使AB轴正交2~10arc sec，轴向线重合度2~10μm。

大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标要求 Specification
X 轴 X AXIS	行程 Travel	mm	200
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.15
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±2
	工作速度 Operating Speed	mm/s	100
Y 轴 Y AXIS	行程 Travel	mm	200
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.75
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.25
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±4
	工作速度 Operating Speed	mm/s	100
A 轴 A AXIS	行程 Travel	°	±90
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±2
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±1
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	μm	0.5
	径向跳动误差 Radial Error Motion	μm	0.5
	工作速度 Operating Speed	°/s	40
B 轴 B AXIS	行程 Travel	°	360
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±2
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±1
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	μm	0.5
	径向跳动误差 Radial Error Motion	μm	0.5
	工作速度 Operating Speed	°/s	40
Z 轴 Z AXIS	行程 Travel	mm	150
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.5
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直线度 Straightness	μm	±1
	平面度 Flatness	μm	±1
	工作速度 Operating Speed	mm/s	50
XYAB	负载 Load	kg	1
Z	负载 Load	kg	20