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QFU-A系列双轴气浮运动台
非接触闭式气浮结构
光栅尺闭环反馈
亚微米级重复定位精度
直线度平面度优于1μm
优化线缆管理
可定制化设计
QFU-A系列双轴气浮运动台
QFU-A系列双轴气浮运动台
QFU-A系列双轴气浮运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
QFU-A系列是一款闭式气浮导轨的双轴气浮运动台,十字叠层结构用于超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
双轴气浮运动台采用氧化铝气浮导轨、直线电机和光栅尺组成,十字叠层结构,底轴为三气浮导轨结构,上轴的运动行程尺寸在底轴宽度范围内,防止上轴出现悬空下榻,改善叠层后上轴的精度性能。气浮运动台为非接触式,随着时间地推移,不会出现磨损或性能下降。陶瓷材料弹性模量大、比刚度大,可有效提高系统刚性和带宽,增加控制系统的相位裕度和幅值裕度。
精度性能
双轴气浮运动台的定位精度±0.2μm,重复定位精度±0.1μm,直线度±0.3μm,平面度±0.5μm,Pitch Roll Yaw±2arc sec内。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能,使用高质量的线缆,以确保无故障操作。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,重复定位精度±15nm,行程可接受定制。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFU-A-100-100

QFU-A-150-150

QFU-A-200-200

QFU-A-250-250

QFU-A-300-300

QFU-A-350-350

轴系 Axis

X

Y

X

Y

X

Y

X

Y

X

Y

X

Y

行程 Travel

mm

100

100

150

150

200

200

250

250

300

300

350

350

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

±0.075

±0.1

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.3

普通版 Standard

±0.35

±0.35

±0.4

±0.5

±0.75

±1

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.2

±0.2

±0.3

±0.4

±0.5

普通版 Standard

±0.4

±0.4

±0.4

±0.5

±0.75

±1

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.4

±0.4

±0.5

±0.75

±1

普通版 Standard

±0.5

±1

±1

±1

±1.5

±2

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

m/s

1

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

5,(10, 20 定制)

最大负载 Max Load

kg

20

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFU-A  -300-300 -PLUS -A -N -1 -0  -C1 -3 -N -Y
描述 闭式气浮运动台 X轴行程300mm;Y轴行程300mm  PLUS高精版 铝合金气浮导轨 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 无大理石基座 有压力保护开关

 

 
名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFU-A 闭式气浮运动台
行程  -100-100 X 轴行程100mm;Y轴行程100mm
 -150-150 X轴行程150mm;Y轴行程150mm
 -200-200 X轴行程200mm;Y轴行程200mm
 -250-250 X轴行程250mm;Y轴行程250mm
 -300-300 X轴行程300mm;Y轴行程300mm
 -350-350 X轴行程350mm;Y轴行程350mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-M 大理石材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理  -C1 高柔排线
 -C2 无尘拖链
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
下载
产品样本
QFU-A系列产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
QFU-A系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
QFU-A-200-200双轴气浮运动台 3D模型
2024-07-03
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报价/订购
QFU-A-100-100
XY轴行程100mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.35μm,平面度±0.4μm
添加至报价单
QFU-A-100-100 PLUS
XY轴行程100mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
添加至报价单
QFU-A-150-150
XY轴行程150mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.35μm,平面度±0.4μm
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QFU-A-150-150 PLUS
XY轴行程150mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm
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QFU-A-200-200
XY轴行程200mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.4μm
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QFU-A-200-200 PLUS
XY轴行程200mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.2μm
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QFU-A-250-250
XY轴行程250mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFU-A-250-250 PLUS
XY轴行程250mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.1μm,平面度±0.3μm
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QFU-A-300-300
XY轴行程300mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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QFU-A-300-300 PLUS
XY轴行程300mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.15μm,平面度±0.4μm
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QFU-A-350-350
XY轴行程350mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.75μm,平面度±0.75μm
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QFU-A-350-350 PLUS
XY轴行程350mm,十字叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.3μm,平面度±0.5μm
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