精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFU-A系列是一款闭式气浮导轨的双轴气浮运动台，十字叠层结构用于超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业。

结构特点

双轴气浮运动台采用氧化铝气浮导轨、直线电机和光栅尺组成，十字叠层结构，底轴为三气浮导轨结构，上轴的运动行程尺寸在底轴宽度范围内，防止上轴出现悬空下榻，改善叠层后上轴的精度性能。气浮运动台为非接触式，随着时间地推移，不会出现磨损或性能下降。陶瓷材料弹性模量大、比刚度大，可有效提高系统刚性和带宽，增加控制系统的相位裕度和幅值裕度。

精度性能

双轴气浮运动台的定位精度±0.2μm，重复定位精度±0.1μm，直线度±0.3μm，平面度±0.5μm，Pitch Roll Yaw±2arc sec内。

线缆管理

精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，使用高质量的线缆，以确保无故障操作。

定制化

可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm，行程可接受定制。

规格参数

型号 Model

单位 Units

QFU-A-100-100

QFU-A-150-150

QFU-A-200-200

QFU-A-250-250

QFU-A-300-300

QFU-A-350-350

轴系 Axis

—

行程 Travel

100

150

200

250

300

350

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.05

±0.1

高精版 Plus

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±0.2

±0.3

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

±7.5

±10

±15

±20

高精版 Plus

±40

±50

普通版 Standard

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.01

±0.015

±0.02

±0.025

高精版 Plus

±0.05

±0.075

±0.1

普通版 Standard

±0.1

±0.15

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.15

±0.3

普通版 Standard

±0.2

±0.35

±0.4

±0.5

±0.75

±1

平面度⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.2

±0.3

±0.4

±0.5

普通版 Standard

±0.2

±0.4

±0.5

±0.75

±1

俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.4

±0.5

±0.75

±1

普通版 Standard

±0.5

±1

±1.5

±2

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

0.3 或 5（选配）

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾

m/s

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾

m/s²

5,（10, 20 定制）

最大负载 Max Load

供气压力 Operating Pressure ⁽⁴⁾

MPa

0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

实测数据

选型信息

型号	QFU-A	-300-300	-P	-A	-N	-1	-0	-C1	-3	-N
描述	闭式气浮运动台	X轴行程300mm；Y轴行程300mm	高精版	铝合金气浮导轨	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	高柔排线	线缆长度3米	无大理石基座

名称	型号	描述
多轴气浮运动台	QFU-A	闭式气浮运动台
行程	-100-100	X 轴行程100mm；Y轴行程100mm
	-150-150	X轴行程150mm；Y轴行程150mm
	-200-200	X轴行程200mm；Y轴行程200mm
	-250-250	X轴行程250mm；Y轴行程250mm
	-300-300	X轴行程300mm；Y轴行程300mm
	-350-350	X轴行程350mm；Y轴行程350mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
气浮导轨类型	-A	铝合金材质气浮导轨
	-M	大理石材质气浮导轨
	-C	陶瓷材质气浮导轨
	-S	碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-C1	高柔排线
线缆管理	-C2	无尘拖链
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
大理石基座	-Y	有大理石基座
大理石基座	-N	无大理石基座（标配）