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JXR-TK系列通孔机械转台
直驱结构转台,闭环控制
通孔设计,外形扁平薄
高精度、高扭矩输出
可选增量或绝对光栅反馈
轴向和径向跳动误差1μm
可定制化设计
JXR-TK系列通孔机械转台
JXR-TK系列通孔机械转台
JXR-TK系列通孔机械转台
产品描述
规格参数
实测数据
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应用领域
JXR-TK系列通孔机械转台在结构紧凑的外形封装中提供高定位精度和跳动误差。应用于精密微装配、半导体技术、计量、自动化、生物技术及科研等领域。
直驱特点
通孔结构设计,通孔φ320mm满足12in晶圆加工、检测应用,在精度性能、高刚性和高承载能力方面表现出色,无需空气供应。直驱力矩电机驱动,不使用减速器、蜗轮蜗杆结构,电机连接负载进行直接驱动,无背隙及精度损失而实现高精度的位置控制,力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动。
精度性能
JXR-TK系列通孔机械转台进行优化设计,最大限度地降低了整体高度,最大限度地减少叠层引起的阿贝误差,提升整体精度性能。重复定位精度±1arc sec,轴向和径向跳动误差1μm。可选高精度增量式光栅或绝对式光栅。
定制化
通孔尺寸可按客户需求设计,转台台面可加装工装夹具等。可定制重复定位精度优于1arc sec,轴向和径向跳动误差优于1μm。
 
规格参数

型号 Model

单位 Units

JXR-TK-100

JXR-TK-150

JXR-TK-200

JXR-TK-250

JXR-TK-320

行程 Travel

°

360

通孔直径 Aperture Diameter

mm

100

150

200

250

320

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

arc sec

±2

普通版 Standard

±5

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

arc sec

±1

普通版 Standard

±2

轴向跳动误差 (1)

Axial Error Motion

高精版 Plus

μm

1

普通版 Standard

5

径向跳动误差 (1)

Radial Error Motion

高精版 Plus

μm

1

普通版 Standard

5

摆角误差

Tilt Error Motion

高精版 Plus

arc sec

10

普通版 Standard

20

电子分辨率 Electronic Resolution

arc sec

<0.01

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (2)

rpm

300

最大负载 Max Load

轴向 Axial Dir

kg

15

15

20

30

100

 

特殊项目 Special Items (3) 单位 Units 数值 Data
定位纹波 In Position Stability arc sec 默认, < 0.1, 定制

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-D,测试点在负载板上25mm处,测试速度2~10deg/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. 轴向和径向跳动为同步跳动误差,测微仪和标准球测量,计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。

2. 空载条件下指标,最大转速取决于负载大小。

3. 无特殊项目要求,出厂默认为准。

实测数据
 
选型信息

型号

JXR-TK

-100

-N

-1

-3

-N

描述

大通孔机械转台

通孔尺寸φ100mm

普通版

增量式光栅1Vpp反馈

线缆长度3米

常压环境

 

名称

型号

描述

机械转台

JXR-TK

大通孔机械转台

行程

-100

行程360°,通孔尺寸φ100mm

-150

行程360°,通孔尺寸φ150mm

-200

行程360°,通孔尺寸φ200mm

-250

行程360°,通孔尺寸φ250mm

-320

行程360°,通孔尺寸φ320mm

精度等级

-N

Standard普通版

-P

Plus高精版

反馈方式

-1

增量式光栅1Vpp反馈

-T

增量式光栅TTL反馈

-ABS

绝对式光栅反馈

线缆长度

-3

长度3米(标配)

-5

长度5米

-DZ

定制

气压环境

-N

常压环境(标配)

-VC

真空环境

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产品样本
产品手册
JXR-TK系列机械转台产品样本
2024-12-21
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CAD图纸
3D模型
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JXR-TK-100
通孔直径 100mm,双向重复定位精度±2arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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JXR-TK-100 PLUS
通孔直径 100mm,双向重复定位精度±1arc sec,轴向跳动误差1μm,径向跳动误差1μm
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JXR-TK-150
通孔直径 150mm,双向重复定位精度±2arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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JXR-TK-150 PLUS
通孔直径 150mm,双向重复定位精度±1arc sec,轴向跳动误差1μm,径向跳动误差1μm
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JXR-TK-200
通孔直径 200mm,双向重复定位精度±2arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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JXR-TK-200 PLUS
通孔直径 200mm,双向重复定位精度±1arc sec,轴向跳动误差1μm,径向跳动误差1μm
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JXR-TK-250
通孔直径 250mm,双向重复定位精度±2arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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JXR-TK-250 PLUS
通孔直径 250mm,双向重复定位精度±1arc sec,轴向跳动误差1μm,径向跳动误差1μm
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JXR-TK-320
通孔直径 320mm,双向重复定位精度±2arc sec,轴向跳动误差5μm,径向跳动误差5μm
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JXR-TK-320 PLUS
通孔直径 320mm,双向重复定位精度±1arc sec,轴向跳动误差1μm,径向跳动误差1μm
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