| 型号 | 单位 | NOTE-AB-100-50 | NOTE-AB-200-100 | |||
| 轴号 | — | A轴 | B轴 | A轴 | B轴 | |
| 行程 | degree | ±90 | 360 | ±90 | 360 | |
| 台面直径 | mm | 114 | 80 | 148 | 114 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | arc sec | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
| 标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
| 双向重复定位精度 | Plus | arc sec | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 |
| 标准值 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ||
| 轴向跳动误差 | Plus | nm | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 标准值 | 250 | 250 | 250 | 250 | ||
| 径向跳动误差 | Plus | nm | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 标准值 | 300 | 300 | 300 | 300 | ||
| 正交性 | Plus | arc sec | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 标准值 | 10 | 10 | 10 | 10 | ||
| 轴心线重合度 | Plus | μm | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 标准值 | 10 | 10 | 10 | 10 | ||
| 电子分辨率 | arc sec | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| 最大速度（空载） | °/s | 180 | 360 | 180 | 360 | |
| 最大负载 | kg | 3 | 5 | |||
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | ||||
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | NOTE-AB | -100-50 | -PLUS | -1 | -3 | -Y | -Y |
| 描述 | AB轴气浮转台 | A轴转动台面φ114mm，B轴转动台面φ80mm | PLUS高精度版 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 线缆长度3米 | 有安装连接板 | 有压力保护开关 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 气浮转台 | NOTE-AB | AB轴气浮转台 |
| 台面 | -100-50 | A轴转动台面φ114mm；B轴转动台面φ80mm |
| -200-100 | A轴转动台面φ148 mm；B轴转动台面φ114mm | |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 安装连接板 | -Y | 有安装连接板 |
| -N | 无安装连接板（标配） | |
| 压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关（标配） |
| -N | 无压力保护开关 |
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