| 型号 | 单位 | QFLZ-25 | |
| 行程 | mm | 25 | |
| 补偿后定位精度 | Plus | μm | ±0.05 |
| 标准值 | ±0.1 | ||
| 双向重复定位精度 | Plus | μm | ±0.025 |
| 标准值 | ±0.05 | ||
| 直线度 | Plus | μm | ±0.05 |
| 标准值 | ±0.1 | ||
| 平面度 | Plus | μm | ±0.05 |
| 标准值 | ±0.25 | ||
| Pitch Roll Yaw | Plus | arc sec | ±0.25 |
| 标准值 | ±0.5 | ||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |
| 最大速度 (空载) | mm/s | 50 | |
| 最大加速度 | m/s² | 1，（5定制） | |
| 最大负载 | kg | 5 | |
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |
注：以上精度指标，测试点在负载板上25mm高度处。
| 型号 | QFLZ | -25 | -PLUS | -N | -1 | -0 | -DB | -3 | -N | -N |
| 描述 | 开式气浮Z轴 | 行程25mm | PLUS高精度版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 原点在行程中心位置 | DB接头 | 线缆长度3米 | 无大理石基座 | 无压力保护开关 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 精密Z轴 | QFLZ | 开式气浮Z轴 |
| 行程 | -25 | 行程25mm |
| 精度等级 | -N | 标准值 |
| -PLUS | PLUS高精度版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -U | 原点在行程上极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -D | 原点在行程下极限位置 | |
| 线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理 |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 | |
| 大理石基座 | -Y | 有大理石基座 |
| -N | 无大理石基座（标配） | |
| 压力保护开关 | -Y | 有压力保护开关（标配） |
| -N | 无压力保护开关 |
