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QFLZ系列精密气浮Z轴
非接触开式气浮结构
光栅尺闭环反馈
重复定位精度±15nm
直线度和平面度±0.2μm
角度误差±0.75arc sec
可定制化设计
QFLZ系列精密气浮Z轴
QFLZ系列精密气浮Z轴
QFLZ系列精密气浮Z轴
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
QFLZ系列是一款纳米级精度的气浮Z轴,安装在XY轴或侧挂到龙门横梁上使用,用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
精密气浮Z轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺组成,开式气浮,永磁预载结构,配置无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动地平滑移动,重复定位精度±15nm,直线度和平面度±0.2μm,Pitch Yaw ±0.75arc sec,由于非接触式结构,伺服反馈的跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,定制加速度5m/s²。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFLZ-25

QFLZ-50

QFLZ-75

QFLZ-100

QFLZ-125

QFLZ-150

QFLZ-175

QFLZ-200

行程 Travel

mm

25

50

75

100

125

150

175

200

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.02

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

高精版 Plus

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.1

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

nm

±5

±7.5

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±10

高精版 Plus

±20

±40

±40

±40

±40

±40

±50

±50

普通版 Standard

±30

±75

±75

±75

±75

±75

±75

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.01

±0.01

±0.01

±0.01

±0.01

±0.015

±0.015

±0.015

高精版 Plus

±0.025

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

直线度 (1)

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.1

±0.25

±0.25

±0.25

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

平面度 (1)

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

俯仰、翻滚、偏摆 (1)

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.4

±0.5

±0.75

±0.75

普通版 Standard

±0.5

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

电子分辨率 Electronic Resolution (2)

nm

≤1, ≤5(选配)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)

mm/s

50

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)

m/s²

1,(5 定制)

最大负载 Max Load

kg

5

供气压力 Operating Pressure (4)

MPa

0.5±0.05

 

特殊项目 Special Items (5) 单位 Units 数值 Data
微动步距 Min Incremental Step nm 默认, ≤ 5, ≤ 50
定位纹波 In Position Stability nm 默认, ≤ 5, ≤ 50
速度稳定性 Speed Stability % 默认, ≤ 4%@1mm/s, ≤ 0.2%@10mm/s
跟随误差 Following Error nm 默认, ≤ 20nm@10mm/s, ≤ 100nm@10mm/s

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20±0.5(重复定位精度优于±50nm,测量时温度20±0.01℃),湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/sRenishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的(过滤至0.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。

5. 无特殊项目要求,出厂默认为准。

实测数据
选型信息
型号 QFLZ -25 -N -N -1 -0 -DB -3
描述 开式气浮Z轴 行程25mm  普通版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头 线缆长度3米

 

名称 型号 描述
精密Z轴 QFLZ 开式气浮Z轴
行程 -25 行程25mm 
-50 行程50mm
-75 行程75mm
-100 行程100mm
-125 行程125mm
-150 行程150mm
-175 行程175mm
-200 行程200mm
精度等级 -N Standard普通版
-P Plus高精版
-U Ultra超精版
电子分辨率 -N 默认
-1 电子分辨率 ≤1nm
-5 电子分辨率 ≤5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
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产品样本
QFLZ系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFLZ-25尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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QFLZ-25
行程25mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.25μm
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QFLZ-25 PLUS
行程25mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.05μm,平面度±0.05μm
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QFLZ-25 Ultra
行程25mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.01μm,直线度±0.05μm,平面度±0.05μm
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QFLZ-50
行程50mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFLZ-50 PLUS
行程50mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFLZ-50 Ultra
行程50mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.01μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFLZ-75
行程75mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFLZ-75 PLUS
行程75mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFLZ-75 Ultra
行程75mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.01μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFLZ-100
行程100mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
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QFLZ-100 PLUS
行程100mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFLZ-100 Ultra
行程100mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.01μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFLZ-125
行程125mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFLZ-125 PLUS
行程125mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFLZ-125 Ultra
行程125mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.01μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFLZ-150
行程150mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.4μm
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QFLZ-150 PLUS
行程150mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFLZ-150 Ultra
行程150mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.015μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFLZ-175
行程175mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFLZ-175 PLUS
行程175mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.015μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFLZ-175 Ultra
行程175mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.015μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFLZ-200
行程200mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFLZ-200 PLUS
行程200mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.015μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFLZ-200 Ultra
行程200mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.015μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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