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QFLZ系列精密气浮Z轴
非接触开式气浮结构
光栅尺闭环反馈
重复定位精度±25nm
直线度和平面度100nm
角度误差±0.5arc sec
可定制化设计
QFLZ系列精密气浮Z轴
QFLZ系列精密气浮Z轴
QFLZ系列精密气浮Z轴
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
QFLZ系列是一款纳米级精度的气浮Z轴,安装在XY轴上使用,用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
精密气浮Z轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺组成,开式气浮,永磁预载结构,配置无摩擦重力平衡气缸,有效地抵消电机向上持续输出力,提升精度性能,同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动地平滑移动,重复定位精度±25nm,直线度和平面度±0.05μm,Pitch Yaw ±0.25arc sec,由于非接触式结构,伺服反馈的跟随误差有了质地提升,定位精度和重复精度得到了显著提高。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,重复定位精度±15nm;定制加速度5m/s²。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFLZ-25

行程 Travel

mm

25

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.05

普通版 Standard

±0.1

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

普通版 Standard

±0.05

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

普通版 Standard

±0.1

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.05

普通版 Standard

±0.25

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

普通版 Standard

±0.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤5

普通版 Standard

≤50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤5

普通版 Standard

≤50

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,5 定制)

最大负载 Max Load

kg

5

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 QFLZ -25 -PLUS -N -1 -0 -DB -3 -N -N
描述 开式气浮Z轴 行程25mm  PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 原点在行程中心位置 DB接头 线缆长度3米 无大理石基座 无压力保护开关

 

名称 型号 描述
精密Z轴 QFLZ 开式气浮Z轴
行程 -25 行程25mm 
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 原点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 原点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFLZ系列精密气浮Z轴产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFLZ-25尺寸图
2023-08-18
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3D模型
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QFLZ-25
行程25mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.25μm
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QFLZ-25 PLUS
行程25mm,非接触式气浮导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.05μm,平面度±0.05μm
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