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型号 Model |
单位 Units |
QFLZ-25 |
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行程 Travel |
mm |
25 |
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补偿后定位精度 Accuracy |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
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普通版 Standard |
±0.1 |
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单向重复定位精度 Uni-Repeatability |
高精版 Plus |
nm |
±20 |
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普通版 Standard |
±30 |
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双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability |
高精版 Plus |
μm |
±0.025 |
|
普通版 Standard |
±0.05 |
||
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直线度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
|
普通版 Standard |
±0.1 |
||
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平面度 (1) Flatness |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
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普通版 Standard |
±0.25 |
||
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俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±0.25 |
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普通版 Standard |
±0.5 |
||
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电子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
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微动步距 Min Incremental Step |
高精版 Plus |
nm |
≤ 5 |
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普通版 Standard |
≤ 50 |
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定位纹波 In Position Stability |
高精版 Plus |
nm |
≤ 5 |
|
普通版 Standard |
≤ 50 |
||
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最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) |
mm/s |
50 |
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最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) |
m/s² |
1,（5 定制） |
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最大负载 Max Load |
kg |
5 |
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供气压力 Operating Pressure (4) |
MPa |
0.5±0.05 |
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注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下的指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
| 型号 | QFLZ | -25 | -P | -N | -1 | -0 | -DB | -3 |
| 描述 | 开式气浮Z轴 | 行程25mm | 高精版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 原点在行程中心位置 | DB接头 | 线缆长度3米 |
| 名称 | 型号 | 描述 |
| 精密Z轴 | QFLZ | 开式气浮Z轴 |
| 行程 | -25 | 行程25mm |
| 精度等级 | -N | Standard普通版 |
| -P | Plus高精版 | |
| 电子分辨率 | -N | 默认 |
| -0.3 | 电子分辨率0.3nm | |
| -5 | 电子分辨率5nm | |
| 反馈方式 | -1 | 增量式光栅1Vpp反馈 |
| -T | 增量式光栅TTL反馈 | |
| -ABS | 绝对式光栅反馈 | |
| 零点位置 | -U | 原点在行程上极限位置 |
| -0 | 零点在行程中心位置（标配） | |
| -D | 原点在行程下极限位置 | |
| 线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理 |
| 线缆长度 | -3 | 长度3米（标配） |
| -5 | 长度5米 | |
| -DZ | 定制 |
