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RBZ-QH系列精密Z轴
垂直平升行程可达150mm,整体尺寸结构紧凑,最大负载100kg
高精度滑块滚柱导轨,伺服电机驱动,光栅闭环反馈
高可靠性驱动机构,带断电抱闸功能,使用寿命长
RBZ-QH系列精密Z轴
RBZ-QH系列精密Z轴
RBZ-QH系列精密Z轴
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应用领域
RBZ-QH系列是一款高精度长行程,大负载的精密Z轴,大尺寸楔形平升结构,用于激光加工、测试测量、半导体等行业,为其提供Z向精密定位。
结构特点
RBZ-QH系列楔形平升结构,直接移动负载,在一个长行程的移动范围内,保持尽可能短的高度,优化了系统误差影响,有助于提高整体精度性能。采用重载滑块滚柱导轨垂直导向,为有重载需求的应用提供了创新解决方案,含断电抱闸功能,防止重物掉落。
精度性能
对精密Z轴的材料选择、加工工艺、装配工艺及科学检测方法等综合应用,光栅闭环反馈,重复定位精度±0.4μm,微动步距0.5μm,最大负载100kg。
精密控制
配合先进的控制器和驱动器,可提供优异的伺服性能、先进的控制算法,从而提高动态性能,控制器有定位误差补偿功能。
柔性设计
RBZ-QH系列精密Z轴上可安装RBLBAC系列双轴精密运动台,实现三轴精密定位。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBZ-QH-50

RBZ-QH-100

RBZ-QH-150

行程 Travel

mm

50

100

150

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.35

±0.5

±1

普通版 Standard

±1

±1

±1.5

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.3

±0.4

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.75

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±1

±2

±2.5

普通版 Standard

±5

±7

±9

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±3.5

±5

±7

普通版 Standard

±7

±8

±9

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

5

10

10

最大负载 Max Load

kg

60

80

100

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

实测数据
选型信息
型号 RBZ-QH -50 -PLUS -DOU -0 -DB -3 -N
描述 大负载平升Z轴 行程50mm  PLUS高精版 增量式双光栅反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
精密Z轴 RBZ-QH 大负载平升Z轴
行程 -50 行程50mm 
-100 行程100mm
-150 行程150mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-DOU 增量式双光栅反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
下载
产品样本
RBZ-QH系列精密Z轴产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
RBZ-QH系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
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RBZ-QH-50
行程50mm,高精度滑块滚柱导轨,楔形平升结构,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±5μm
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RBZ-QH-50 PLUS
行程50mm,高精度滑块滚柱导轨,楔形平升结构,双向重复定位精度±0.25μm,直线度±1μm
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RBZ-QH-100
行程100mm,高精度滑块滚柱导轨,楔形平升结构,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±7μm
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RBZ-QH-100 PLUS
行程100mm,高精度滑块滚柱导轨,楔形平升结构,双向重复定位精度±0.3μm,直线度±2μm
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RBZ-QH-150
行程150mm,高精度滑块滚柱导轨,楔形平升结构,双向重复定位精度±0.75μm,直线度±9μm
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RBZ-QH-150 PLUS
行程150mm,高精度滑块滚柱导轨,楔形平升结构,双向重复定位精度±0.4μm,直线度±2.5μm
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