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QFL系列气浮运动台
非接触开式气浮结构
行程25~200mm可选
重复定位精度±75nm
直线度±0.2μm, 平面度±0.2μm
角度误差±0.75arc sec
可定制化设计
QFL系列气浮运动台
QFL系列气浮运动台
QFL系列气浮运动台
产品描述
规格参数
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选型信息
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应用领域
QFL系列气浮运动台,外形紧凑,全行程直线度±0.2μm,可作单轴使用,或与其它轴组成多轴系统,用于飞秒激光加工,测试测量,扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
QFL系列主要由气浮导轨,直线电机和光栅尺组成,开式气浮结构,永磁预载,外观结构紧凑,耗气量小,能有效降低工作点的高度,减小阿贝误差对系统的影响。气浮导轨免维护运行,理论上使用寿命是无限的,不需要润滑油,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。
精度性能
QFL系列气浮运动台实现无摩擦、无振动地平滑移动,行程25~200mm可选,重复定位精度±75nm,全行程直线度±0.2μm,全行程平面度±0.2μm,Pitch Yaw ±0.75arc sec。由于非接触式结构,系统跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升,定位精度和重复定位精度得到了显著提高。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,直线度≤0.1μm,海德汉光栅尺配置,线性驱动器,纳米级抖动(配主动隔振系统)。
 
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFL-25

QFL-50

QFL-75

QFL-100

QFL-125

QFL-150

QFL-175

QFL-200

行程 Travel

mm

25

50

75

100

125

150

175

200

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±0.1

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.1

±0.25

±0.25

±0.25

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.4

±0.5

±0.75

±0.75

普通版 Standard

±0.5

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 5

普通版 Standard

≤ 50

速度稳定性*

Speed Stability

1mm/s

%

≤ 4

10mm/s

≤ 0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

nm

≤ 20(10mm/s)

普通版 Standard

≤ 100(10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

50

100

300

300

300

300

300

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(≥5 定制)

最大负载 Max Load

kg

15

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*:速度稳定性为高精度版。

选型信息
型号 QFL -100 -PLUS -A -N -1 -0 -C1 -3 -N -N
描述 开式气浮运动台 行程100mm PLUS高精版 铝合金材质气浮导轨 默认 增量式光栅1Vpp反馈 原点在行程中心位置 高柔排线 线缆长度3米 无大理石基座 无压力保护开关

 

名称 型号 描述
单轴气浮运动台 QFL 开式气浮运动台
行程 -25 行程25mm
-50 行程50mm
-75 行程75mm
-100 行程100mm
-125 行程125mm
-150 行程150mm
-175 行程175mm
-200 行程200mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
气浮导轨类型 -A 铝合金材质气浮导轨
-C 陶瓷材质气浮导轨
-S 碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
 -C1 高柔排线
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
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产品样本
QFL系列产品样本
2023-09-08
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产品手册
CAD图纸
QFL系列产品尺寸图
2023-08-18
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3D模型
报价/订购
QFL-25
行程25mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.25μm
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QFL-25 PLUS
行程25mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.05μm,平面度±0.05μm
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QFL-50
行程50mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFL-50 PLUS
行程50mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFL-75
行程75mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm
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QFL-75 PLUS
行程75mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFL-100
行程100mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm
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QFL-100 PLUS
行程100mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm
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QFL-125
行程125mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFL-125 PLUS
行程125mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFL-150
行程150mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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QFL-150 PLUS
行程150mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
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QFL-175
行程175mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFL-175 PLUS
行程175mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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QFL-200
行程200mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±0.5μm,平面度±0.5μm
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QFL-200 PLUS
行程200mm,气浮导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.2μm,平面度±0.2μm
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