QFL系列气浮运动台-解决方案-北京瑞邦精控科技有限公司

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应用领域

QFL系列气浮运动台，外形紧凑，全行程直线度±0.2μm，可作单轴使用，或与其它轴组成多轴系统，用于飞秒激光加工，测试测量，扫描、半导体及光子学等行业。

结构特点

QFL系列主要由气浮导轨，直线电机和光栅尺组成，开式气浮结构，永磁预载，外观结构紧凑，耗气量小，能有效降低工作点的高度，减小阿贝误差对系统的影响。气浮导轨免维护运行，理论上使用寿命是无限的，不需要润滑油，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。

精度性能

QFL系列气浮运动台实现无摩擦、无振动地平滑移动，行程25~200mm可选，重复定位精度±20nm~±100nm，全行程直线度±0.2μm，全行程平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.75arc sec。由于非接触式结构，系统跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升，定位精度和重复定位精度得到了显著提高。

定制化

可定制陶瓷材质气浮导轨，直线度≤0.1μm，海德汉光栅尺配置，线性驱动器，纳米级抖动（配主动隔振系统）。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFL-25	QFL-50	QFL-75	QFL-100	QFL-125	QFL-150	QFL-175	QFL-200
行程 Travel		mm	25	50	75	100	125	150	175	200
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.02	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05
	高精版 Plus		±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15
	普通版 Standard		±0.1	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10
	高精版 Plus		±20	±40	±40	±40	±40	±40	±50	±50
	普通版 Standard		±30	±75	±75	±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01	±0.015	±0.015
	高精版 Plus		±0.025	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.075	±0.075
	普通版 Standard		±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15
直线度⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.1	±0.1	±0.2	±0.2
直线度⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±0.1	±0.25	±0.25	±0.25	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±0.25	±0.35	±0.35	±0.4	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
俯仰、翻滚、偏摆⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.25	±0.35	±0.35	±0.4	±0.4	±0.5	±0.75	±0.75
俯仰、翻滚、偏摆⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±0.5	±1	±1	±1	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
微动步距 Min Incremental Step	高精版 Plus	nm	≤ 5
微动步距 Min Incremental Step	普通版 Standard	nm	≤ 50
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus	nm	≤ 5
定位纹波 In Position Stability	普通版 Standard	nm	≤ 50
速度稳定性⁽³⁾ Speed Stability	1mm/s	%	≤ 4
速度稳定性⁽³⁾ Speed Stability	10mm/s	%	≤ 0.2
跟随误差 Following Error	高精版 Plus	nm	20（10mm/s）
跟随误差 Following Error	普通版 Standard	nm	100（10mm/s）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁴⁾		mm/s	50	50	100	300	300	300	300	300
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽⁴⁾		m/s²	1,（≥5 定制）
最大负载 Max Load		kg	15
供气压力 Operating Pressure ⁽⁵⁾		MPa	0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 速度稳定性为高精版。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

实测数据

QFL-100定位精度和重复定位精度.pdf

选型信息

型号	QFL	-100	-P	-A	-N	-1	-0	-C1	-3	-N
描述	开式气浮运动台	行程100mm	高精版	铝合金材质气浮导轨	默认	增量式光栅1Vpp反馈	原点在行程中心位置	高柔排线	线缆长度3米	无大理石基座

名称	型号	描述
单轴气浮运动台	QFL	开式气浮运动台
行程	-25	行程25mm
	-50	行程50mm
	-75	行程75mm
	-100	行程100mm
	-125	行程125mm
	-150	行程150mm
	-175	行程175mm
	-200	行程200mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
气浮导轨类型	-A	铝合金材质气浮导轨
	-C	陶瓷材质气浮导轨
	-S	碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆管理	-C1	高柔排线
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
大理石基座	-Y	有大理石基座
大理石基座	-N	无大理石基座（标配）

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产品样本

QFL系列产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

QFL系列产品尺寸图

2023-08-18

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3D模型

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QFL-25

行程25mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.1μm，平面度±0.25μm

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QFL-25 PLUS

行程25mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.05μm，平面度±0.05μm

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QFL-25 Ultra

行程25mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.05μm，平面度±0.05μm

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QFL-50

行程50mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.25μm，平面度±0.35μm

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QFL-50 PLUS

行程50mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFL-50 Ultra

行程50mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFL-75

行程75mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.25μm，平面度±0.35μm

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QFL-75 PLUS

行程75mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFL-75 Ultra

行程75mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFL-100

行程100mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.25μm，平面度±0.4μm

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QFL-100 PLUS

行程100mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFL-100 Ultra

行程100mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm

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QFL-125

行程125mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFL-125 PLUS

行程125mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm

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QFL-125 Ultra

行程125mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm

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QFL-150

行程150mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

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QFL-150 PLUS

行程150mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm

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QFL-150 Ultra

行程150mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm

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QFL-175

行程175mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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QFL-175 PLUS

行程175mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm

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QFL-175 Ultra

行程175mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm

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QFL-200

行程200mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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QFL-200 PLUS

行程200mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm

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QFL-200 Ultra

行程200mm，气浮导轨，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.2μm，平面度±0.2μm

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