应用领域
QFL系列气浮运动台,外形紧凑,全行程直线度±0.1μm,可作单轴使用,或与其它轴组成多轴系统,用于飞秒激光加工,测试测量,扫描、半导体及光子学等行业。
结构特点
QFL系列主要由气浮导轨,直线电机和光栅尺组成,开式气浮结构,永磁预载,外观结构紧凑,耗气量小,能有效降低工作点的高度,减小阿贝误差对系统的影响。气浮导轨免维护运行,理论上使用寿命是无限的,不需要润滑油,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。
精度性能
QFL系列气浮运动台实现无摩擦、无振动地平滑移动,行程25~150mm可选,重复定位精度±50nm,全行程直线度±0.1μm,全行程平面度±0.15μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec。由于非接触式结构,系统跟随误差相比机械导轨结构有了质地提升,定位精度和重复定位精度得到了显著提高。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨,直线度≤0.1μm,海德汉光栅尺配置,线性驱动器,纳米级抖动(配主动隔振系统)。
规格参数
型号 |
单位 |
QFL-25 |
QFL-75 |
QFL-100 |
QFL-125 |
QFL-150 |
行程 |
mm |
25 |
75 |
100 |
125 |
150 |
补偿后定位精度 |
Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
标准值 |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
双向重复定位精度 |
Plus |
μm |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
标准值 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
直线度 |
Plus |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
标准值 |
±0.1 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 |
±0.4 |
平面度 |
Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
标准值 |
±0.25 |
±0.35 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
Pitch Roll Yaw |
Plus |
arc sec |
±0.25 |
±0.35 |
±0.4 |
±0.45 |
±0.5 |
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
最大速度 (空载) |
mm/s |
50 |
100 |
300 |
300 |
300 |
电子分辨率 |
nm |
0.3 或 5(选配) |
最大加速度 (空载) |
m/s² |
1, (≥5 定制) |
最大负载 |
kg |
15 |
供气压力 |
MPa |
0.5±0.05 |
注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。