精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBLBAC-100XY-35Z-R四轴精密运动台用于激光切割玻璃管。

产品简介

XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，XY轴平面式结构，最大限度降低高度，减小系统误差影响；此外XY轴可定制断电抱闸功能，抱闸瞬间位置漂移可控制在20nm内。
Z轴直驱力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及双光栅尺闭环反馈，获得纳米级定位纹波。
T轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮抱死的问题。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标Specification
X 轴 X AXIS	行程 Travel	mm	100
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.4
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直线度 Straightness	μm	±1
	平面度 Flatness	μm	±1
	俯仰、翻滚、偏摆 Pitch Roll Yaw	arc sec	±6
	电子分辨率 Electronic Resolution	nm	5
	工作速度 Operating Speed	mm/s	300
Y 轴 Y AXIS	行程 Travel	mm	100
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.4
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.1
	直线度 Straightness	μm	±1
	平面度 Flatness	μm	±1
	俯仰、翻滚、偏摆 Pitch Roll Yaw	arc sec	±6
	电子分辨率 Electronic Resolution	nm	5
	工作速度 Operating Speed	mm/s	300
Z 轴 Z AXIS	行程 Travel	mm	35
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±1
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±4
	电子分辨率 Electronic Resolution	nm	10
	工作速度 Operating Speed	mm/s	10
T 轴 T AXIS	行程 Travel	°	360
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±1
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	≤1
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	nm	250
	径向跳动误差 Radial Error Motion	nm	300
	电子分辨率 Electronic Resolution	arc sec	<0.01
	工作速度 Operating Speed	rpm	300
XYZT	负载 Load - 轴向 Axial Dir	kg	5
XYZT	负载 Load - 径向 Radia Dir	kg	3