精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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RBLBAC-XY-SG系列是一款高精度三轴精密运动台，三轴叠层紧凑式结构，亚微米级精度用于飞秒激光加工、光学制造及检测、基因测序和科研等领域。

结构特点

XY轴采用双直线电机驱动，推力大，高动态性能，在低速运行时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，线线接触，交叉排列，多方向受力稳定。叠层式结构紧凑，降低XY轴高度，提升整体精度性能。XY轴叠层结构，行程50~310mm可选。Z轴直驱平升结构，行程可选10~50mm，直接移动负载升降，可选配抱闸功能，防止断电掉落。

精度性能

非接触式光栅闭环反馈，紧凑结构，获得XY轴双向重复定位精度±20nm，直线度和平面度优于±1.5μm；Z轴重复定位精度±75nm，直线度±0.75μm，是高精度场所的理想选择。

精密控制

配合高性能的控制和驱动器，可提供优异的伺服性能、先进的控制算法，从而提高动态性能，控制器有误差补偿功能。

定制化

定制断电抱闸功能，抱闸后位置相比抱闸前位置漂移误差20nm内；定制最大加速度；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振器等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBLBAC-50XY-10SG		RBLBAC-100XY-20SG		RBLBAC-210XY-35SG		RBLBAC-310XY-50SG
行程 Travel		mm	50 x 50	10	100 x 100	20	210 x 210	35	310 x 310	50
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	—	±0.05	—	±0.1	—	±0.05	—
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.1	±0.15
	普通版 Standard		±0.4	±1	±0.4	±1	±0.5	±1	±0.4	±1
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	—	±7.5	—	±10	—	±15	—
	高精版 Plus		±20	—	±40	—	±50	—	±50	—
	普通版 Standard		±30	—	±75	—	±75	—	±75	—
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	—	±0.01	—	±0.015	—	±0.02	—
	高精版 Plus		±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075
	普通版 Standard		±0.1	±0.5	±0.1	±0.5	±0.1	±0.5	±0.1	±0.5
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.4	±0.5	±0.4	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±3	±1	±3	±1.5	±4	±2	±5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	—	±0.75	—	±1	—	±1.5	—
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	—	±1	—	±1.5	—	±2	—
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±3	±2.5	±3	±2.5	±4	±2.5	±5	±3.5
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±6	±5	±6	±5	±7.5	±5	±9	±7
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5	±2	±1.5	±2	±2	±2	±2.5	±3
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±3	±5	±3	±5	±4	±5	±5	±7
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤1, ≤5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	100	10	300	10	300	10	300	50
最大负载 Max Load		kg	10

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, XY ≤ 5 Z ≤ 1, XY ≤ 50 Z ≤ 30
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, XY ≤ 5 Z ≤ 1, XY ≤ 50 Z ≤ 30

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

RBLBAC-210XY-20SG 测试报告.pdf

选型信息

型号	RBLBAC	-50XY-10SG	-N	-N	-1	-C3	-3	-N	-N
描述	三轴精密运动台	X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程10mm	普通版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	无尘拖链	线缆长度3米	常压环境	无大理石基座

名称	型号	描述
多轴线轨运动台	RBLBAC-XY-SG	三轴精密运动台
行程	-50XY-10SG	X轴行程50mm； Y轴行程50mm； Z轴行程10mm
	-100XY-20SG	X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程20mm
	-210XY-35SG	X轴行程210mm；Y轴行程210mm；Z轴行程35mm
	-310XY-50SG	X轴行程310mm；Y轴行程310mm；Z轴行程50mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
	-C3	无尘拖链
	-C5	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VC	真空环境
大理石基座 ⁽¹⁾	-Y	有大理石基座
大理石基座 ⁽¹⁾	-N	无大理石基座（标配）