精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台，用于飞秒激光加工，超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业，由于非接触式运动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。

结构特点

双轴气浮运动台采用开式气浮导轨，直线电机和光栅尺组成，永磁预载结构，XY轴叠层具有体积小，精度高、工作点低等特点，能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽，作为底轴，整体性能更稳定。非接触式气浮结构，免维护运行，随着时间地推移，不会出现磨损或性能下降。

精度性能

QFL-XY系列双轴气浮运动台的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±20nm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上为全行程精度指标，由于非接触式运动机构，跟随误差有了质地提升，精度得到显著提高。

线缆管理

使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外，可提供带屏蔽高柔线缆，提供系统抗干扰能力。

定制化

根据应用，结构可定制化设计，如增加平升或楔形Z轴，转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁，XY轴安装到大理石基座上，Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统，适合高抖动的应用领域。

规格参数

型号 Model

单位 Units

QFL-25-25

QFL-50-50

QFL-75-75

QFL-100-100

QFL-125-125

QFL-150-150

轴系 Axis

—

行程 Travel

100

125

150

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.02

±0.05

高精版 Plus

±0.05

±0.1

普通版 Standard

±0.1

±0.2

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

±5

±7.5

±10

高精版 Plus

±20

±40

±50

普通版 Standard

±30

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.01

±0.015

高精版 Plus

±0.025

±0.05

普通版 Standard

±0.05

±0.1

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

普通版 Standard

±0.1

±0.25

±0.4

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±0.25

±0.35

±0.4

±0.5

俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.25

±0.35

±0.4

±0.45

±0.5

普通版 Standard

±0.5

±1

±1.5

正交性

Orthogonality

高精版 Plus

arc sec

普通版 Standard

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

0.3 或 5（选配）

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

≤ 10

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

≤ 10

普通版 Standard

≤ 50

速度稳定性 ⁽³⁾

Speed Stability

1mm/s

≤ 4

10mm/s

≤ 0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

≤ 20 (10mm/s)

普通版 Standard

≤ 100 (10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁴⁾

mm/s

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽⁴⁾

m/s²

1,（5 定制）

最大负载 Max Load

供气压力 Operating Pressure ⁽⁵⁾

MPa

0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净恒温间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm高度处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 速度稳定性为高精版。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载。

5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

实测数据

选型信息

型号

QFL

-100-100

-P

-N

-1

-0

-C1

-3

-Y

描述

开式气浮运动台

X轴行程100mm；

Y轴行程100mm

高精版

默认

增量式光栅1Vpp反馈

零点在行程中心位置

带屏蔽排线

线缆长度3米

有大理石基座

名称	型号	描述
多轴气浮运动台	QFL	开式气浮运动台
行程	-25-25	X轴行程25mm；Y轴行程25mm
	-50-50	X轴行程50mm；Y轴行程50mm
	-75-75	X轴行程75mm；Y轴行程75mm
	-100-100	X轴行程100mm；Y轴行程100mm
	-125-125	X轴行程125mm；Y轴行程125mm
	-150-150	X轴行程150mm；Y轴行程150mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-0.3	电子分辨率0.3nm
	-5	电子分辨率5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-0	零点在行程中心位置
线缆管理	-C1	高柔排线
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
大理石基座	-Y	有大理石基座
大理石基座	-N	无大理石基座（标配）