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QFL-XY系列双轴气浮运动台
开式气浮叠层结构
结构紧凑、精度高
重复定位精度±50nm
直线度±0.1μm,平面度±0.15μm
根据需求可定制
高柔线缆管理
QFL-XY系列双轴气浮运动台
QFL-XY系列双轴气浮运动台
QFL-XY系列双轴气浮运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台,用于飞秒激光加工,超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业,由于非接触式运动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构特点
双轴气浮运动台采用开式气浮导轨,直线电机和光栅尺组成,永磁预载结构,XY轴叠层具有体积小,精度高、工作点低等特点,能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽,作为底轴,整体性能更稳定。非接触式气浮结构,免维护运行,随着时间地推移,不会出现磨损或性能下降。
精度性能
QFL-XY轴的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec,以上为全行程精度指标,由于非接触式运动机构,气浮运动台的跟随误差有了质地提升,精度得到显著提高。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管,线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计,运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外,可提供带屏蔽高柔线缆,提供系统抗干扰能力。
定制化
根据应用,结构可定制化设计,如增加平升或楔形Z轴,转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁,XY轴安装到大理石基座上,Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统,适合高抖动的应用领域。
规格参数

型号 Model

单位 Units

QFL-50-50

QFL-100-100

QFL-150-150

轴系 Axis

X

Y

X

Y

X

Y

行程 Travel

mm

50

50

100

100

150

150

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.2

±0.2

±0.2

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.05

普通版 Standard

±0.1

±0.1

±0.1

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.1

普通版 Standard

±0.25

±0.25

±0.4

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±0.35

±0.4

±0.5

俯仰、翻滚、偏摆

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.35

±0.4

±0.5

普通版 Standard

±1

±1

±1.5

正交性

Orthogonality

高精版 Plus

arc sec

5

2

2

普通版 Standard

10

5

5

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus

nm

≤ 10

普通版 Standard

≤ 50

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus

nm

≤ 10

普通版 Standard

≤ 50

速度稳定性*

Speed Stability

1mm/s

%

≤ 4

10mm/s

≤ 0.2

跟随误差

Following Error

高精版 Plus

nm

≤ 20 (10mm/s)

普通版 Standard

≤ 100 (10mm/s)

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(5 定制)

最大负载 Max Load

kg

10

供气压力 Operating Pressure

MPa

0.5±0.05

 

注:以上为单轴精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*: 速度稳定性为高精度版。

实测数据
选型信息
型号 QFL -100-100 -PLUS -N -1 -0  -C1 -3 -Y -Y
描述 开式气浮运动台 X轴行程100mm; Y轴行程100mm PLUS高精版 默认 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 带屏蔽排线 线缆长度3米 有大理石基座 有压力保护开关

 

名称 型号 描述
多轴气浮运动台 QFL 开式气浮运动台
行程 -50-50 X轴行程50mm;Y轴行程50mm
-100-100 X轴行程100mm;Y轴行程100mm
-150-150 X轴行程150mm;Y轴行程150mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -0 零点在行程中心位置
线缆管理  -C1 高柔排线
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)
压力保护开关 -Y 有压力保护开关(标配)
-N 无压力保护开关
下载
产品样本
QFL-XY系列产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
QFL-XY系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
QFL-50-50双轴气浮运动台 3D模型
2023-11-14
下载
QFL-100-100双轴气浮运动台 3D模型
2023-11-14
下载
QFL-150-150双轴气浮运动台 3D模型
2023-11-14
下载
报价/订购
QFL-50-50
XY轴行程50mm,开式气浮叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.35μm,正交性10arc sec
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QFL-50-50 PLUS
XY轴行程50mm,开式气浮叠层结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm,正交性5arc sec
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QFL-100-100
XY轴行程100mm,开式气浮叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.25μm,平面度±0.4μm,正交性5arc sec
添加至报价单
QFL-100-100 PLUS
XY轴行程100mm,开式气浮叠层结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.05μm,平面度±0.1μm,正交性2arc sec
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QFL-150-150
XY轴行程150mm,开式气浮叠层结构,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm,正交性5arc sec
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QFL-150-150 PLUS
XY轴行程150mm,开式气浮叠层结构,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm,正交性2arc sec
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