精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴，具有纳米级微动步距，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。

结构特点

RBZ-SG系列直驱结构，承载能力大，在一个长行程的移动范围，保持尽可能低的高度，优化阿贝误差影响，有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。

直驱结构

力矩电机作为直驱方式，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节，RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心布置在Z轴中心，有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。

光栅闭环反馈

RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈，直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式，直接测量工件移动时的误差，提高了精度性能。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBZ-10SG	RBZ-20SG	RBZ-25SG	RBZ-35SG	RBZ-45SG	RBZ-50SG
行程 Travel		mm	10	20	25	35	45	50
补偿后定位精度 Accuracy	高精版 Plus	μm	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15
补偿后定位精度 Accuracy	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1	±1	±1
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	高精版 Plus	μm	±0.05	±0.05	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	普通版 Standard	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±3	±3	±4	±4	±5	±5
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±2.5	±2.5	±2.5	±2.5	±3.5	±3.5
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5	±5	±7	±7
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±2	±2	±2	±2	±3	±3
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5	±5	±7	±7
电子分辨率Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	0.3 或 5（选配）
微动步距 Min Incremental Step	高精版 Plus ⁽³⁾	nm	≤ 1		≤ 5		≤ 10
微动步距 Min Incremental Step	普通版 Standard	nm	≤ 30		≤ 50		≤ 80
定位纹波 In Position Stability	高精版 Plus ⁽³⁾	nm	≤ 1		≤ 5		≤ 10
定位纹波 In Position Stability	普通版 Standard	nm	≤ 30		≤ 50		≤ 80
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽⁴⁾		mm/s	10					50
最大负载 Max Load		kg	20		40		60

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，普通版振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度5mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 高精度版振动等级为VC-F。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

选型信息

型号	RBZ	-20SG	-P	-5	-DOU	-0	-DB	-3	-N
描述	平升精密Z轴	行程20mm	高精版	电子分辨率5nm	增量式双光栅反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米	常压环境