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RBZ-SG系列精密Z轴
垂直平升行程可达50mm,整体尺寸结构紧凑,速度可达20mm/s,最大负载60kg
高精度交叉滚柱导轨,无槽无刷力矩电机,低膨胀系数光栅有助实现纳米级微动步距
高可靠性驱动机构,使用寿命长
RBZ-SG系列精密Z轴
RBZ-SG系列精密Z轴
RBZ-SG系列精密Z轴
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规格参数
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应用领域
RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴,具有纳米级微动步距,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。
结构特点
RBZ-SG系列直驱结构,承载能力大,在一个长行程的移动范围,保持尽可能低的高度,优化阿贝误差影响,有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向,为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。
直驱结构
力矩电机作为直驱方式,没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节,RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动,相对侧升结构Z轴,无需转接板,负载重心布置在Z轴中心,有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
光栅闭环反馈
RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈,直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式,直接测量工件移动时的误差,提高了精度性能。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBZ-10SG

RBZ-20SG

RBZ-25SG

RBZ-35SG

RBZ-45SG

RBZ-50SG

行程 Travel

mm

10

20

25

35

45

50

补偿后定位精度

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

±1

双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

±0.075

普通版 Standard

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

普通版 Standard

±3

±3

±4

±4

±5

±5

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

±3.5

±3.5

普通版 Standard

±5

±5

±5

±5

±7

±7

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±2

±2

±2

±2

±3

±3

普通版 Standard

±5

±5

±5

±5

±7

±7

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus*

nm

≤ 1

≤ 5

≤ 10

普通版 Standard

≤ 30

≤ 50

≤ 80

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus*

nm

≤ 1

≤ 5

≤ 10

普通版 Standard

≤ 30

≤ 50

≤ 80

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

10

20

最大负载 Max Load

kg

20

40

60

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*:高精度版振动等级为VC-F。

实测数据
选型信息
型号 RBZ-SG -20 -PLUS -5 -DOU -0 -DB -3 -N
描述 平升精密Z轴 行程20mm  PLUS高精版 电子分辨率5nm 增量式双光栅反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 常压环境

 

名称 型号 描述
精密Z轴 RBZ 平升精密Z轴
行程 -10SG 行程10mm 
-20SG 行程20mm
-25SG 行程25mm
-35SG 行程35mm
-45SG 行程45mm
-50SG 行程50mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-DOU 增量式双光栅反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -U 零点在行程上极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-D 零点在行程下极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理(标配)
 -C4 真空线缆
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制
气压环境 -N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
下载
产品样本
RBZ-SG系列精密Z轴产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
RBZ-SG系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
RBZ-20SG精密Z轴 3D模型
2023-11-14
下载
RBZ-35SG精密Z轴 3D模型
2023-11-14
下载
RBZ-50SG精密Z轴 3D模型
2024-04-18
下载
报价/订购
RBZ-10SG
行程10mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3μm
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RBZ-10SG PLUS
行程10mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm
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RBZ-20SG
行程20mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±3μm
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RBZ-20SG PLUS
行程20mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.5μm
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RBZ-25SG
行程25mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±4μm
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RBZ-25SG PLUS
行程25mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm
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RBZ-35SG
行程35mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±4μm
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RBZ-35SG PLUS
行程35mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm
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RBZ-45SG
行程45mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±5μm
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RBZ-45SG PLUS
行程45mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.75μm
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RBZ-50SG
行程50mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.5μm,直线度±5μm
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RBZ-50SG PLUS
行程50mm,高精度交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.75μm
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