精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

产品描述

规格参数

实测数据

选型信息

下载

报价/订购

应用领域

RBN系列是一款高精度的精密运动台，具有亚微米级精度，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、光存储、测试测量、光纤对准和科研等领域。

结构特点

防蠕动交叉滚柱直线导轨导向，解决因保持架蠕动而长时间运行导致行程变化的问题。交叉滚柱为线线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。无铁芯直线电机驱动，直驱电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点，RBN系列精密运动台在低速运行时能保持平稳，在高速状态也不会产生振动。

精度性能

非接触式光栅闭环反馈，考虑热膨胀和材料等影响，紧凑结构设计，获得高重复定位精度，重复定位精度±0.1μm，直线度和平面度可优于±1.25μm，纳米级定位抖动，是高精度场所的理想选择。

微动步距

对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤1nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。

定制化

可定制高真空环境下的版本，真空度10^-7Torr。根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBN-25	RBN-50	RBN-75	RBN-100	RBN-125	RBN-150
行程 Travel		mm	25	50	75	100	125	150
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05	±0.05
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15
	普通版 Standard		±0.2	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5
	高精版 Plus		±20	±20	±40	±40	±40	±40
	普通版 Standard		±30	±30	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01	±0.01
	高精版 Plus		±0.025	±0.025	±0.05	±0.05	±0.05	±0.075
	普通版 Standard		±0.05	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
直线度⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.25	±0.25	±0.35	±0.35	±0.4	±0.5
直线度⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1	±1	±1.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1	±1	±1.5
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±1	±2	±2	±2.5
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5	±5	±5	±5
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1	±1	±1	±1	±1	±1
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±2.5	±2.5	±2.5	±2.5	±2.5	±2.5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	50		200
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	1,（5 定制）
最大负载 Max Load		kg	15

型号 Model		单位 Units	RBN-175	RBN-200	RBN-225	RBN-250	RBN-275	RBN-300
行程 Travel		mm	175	200	225	250	275	300
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
	高精版 Plus		±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
	普通版 Standard		±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±10	±10	±10	±15	±15	±15
	高精版 Plus		±50	±50	±50	±50	±50	±50
	普通版 Standard		±75	±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.015	±0.015	±0.015	±0.02	±0.02	±0.02
	高精版 Plus		±0.075	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1	±0.1
	普通版 Standard		±0.1	±0.15	±0.15	±0.175	±0.175	±0.175
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75	±1	±1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±1.75	±1.75
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	±0.75	±1	±1	±1.25	±1.25
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1.5	±1.5	±1.5	±1.5	±1.75	±1.75
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±3	±3	±3	±4	±4	±4
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±7	±7	±7	±8	±8	±8
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±2	±2	±2	±3	±3	±3
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±5	±5	±5	±6	±6	±6
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	200
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	1,（5 定制）
最大负载 Max Load		kg	15

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, ≤ 1, ≤ 30
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, ≤ 1, ≤ 30

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。振动等级VC-G，微动步距<0.2nm。

实测数据

RBN-100 测试报告.pdf

选型信息

型号	RBN	-100	-N	-5	-1	-0	-DB	-3	-N	-N
描述	交叉滚柱运动台	行程100mm	普通版	电子分辨率 ≤5nm	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB接头，无线缆管理	线缆长度3米	常压环境	无大理石基座

名称	型号	描述
单轴线轨运动台	RBN	交叉滚柱运动台
行程	-25	行程25mm
	-50	行程50mm
	-75	行程75mm
	-100	行程100mm
	-125	行程125mm
	-150	行程150mm
	-175	行程175mm
	-200	行程200mm
	-225	行程225mm
	-250	行程250mm
	-275	行程275mm
	-300	行程300mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆管理	-C5	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VC	真空环境
大理石基座^（1）	-Y	有大理石基座
大理石基座^（1）	-N	无大理石基座（标配）

注：1. 选真空环境下（-VC）使用，禁止选大理石基座（-Y）项。

下载

产品样本

RBN系列产品样本

2023-09-08

下载

产品手册

CAD图纸

RBN系列产品尺寸图

2023-08-18

下载

3D模型

报价/订购

RBN-25

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-25 PLUS

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-25 Ultra

行程25mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-50

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-50 PLUS

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-50 Ultra

行程50mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-75

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-75 PLUS

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-75 Ultra

行程75mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-100

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-100 PLUS

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-100 Ultra

行程100mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-125

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-125 PLUS

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-125 Ultra

行程125mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.4μm，平面度±0.5μm

添加至报价单

RBN-150

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBN-150 PLUS

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBN-150 Ultra

行程150mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBN-175

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBN-175 PLUS

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBN-175 Ultra

行程175mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBN-200

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBN-200 PLUS

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBN-200 Ultra

行程200mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBN-225

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBN-225 PLUS

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-225 Ultra

行程225mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-250

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

添加至报价单

RBN-250 PLUS

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-250 Ultra

行程250mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±0.75μm，平面度±1μm

添加至报价单

RBN-275

行程275mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

添加至报价单

RBN-275 PLUS

行程275mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

添加至报价单

RBN-275 Ultra

行程275mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

添加至报价单

RBN-300

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

添加至报价单

RBN-300 PLUS

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

添加至报价单

RBN-300 Ultra

行程300mm，抗蠕动交叉滚柱导轨，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

添加至报价单

询问定制设计前往报价单