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RBN系列精密运动台
紧凑式直驱结构
重复定位精度±0.1μm
抗蠕动交叉滚柱导轨
直线度和平面度±0.5μm
微动步距≤1nm
可定制真空版本
RBN系列精密运动台
RBN系列精密运动台
RBN系列精密运动台
产品描述
规格参数
实测数据
选型信息
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应用领域
RBN系列是一款高精度的精密运动台,具有亚微米级精度,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、光存储、测试测量、光纤对准和科研等领域。
结构特点
防蠕动交叉滚柱直线导轨导向,解决因保持架蠕动而长时间运行导致行程变化的问题。交叉滚柱为线线接触,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。无铁芯直线电机驱动,直驱电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点,RBN系列精密运动台在低速运行时能保持平稳,在高速状态也不会产生振动。
精度性能
非接触式光栅闭环反馈,考虑热膨胀和材料等影响,紧凑结构设计,获得高重复定位精度,重复定位精度±0.1μm,直线度和平面度可优于±1.25μm,纳米级定位抖动,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤1nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空环境下的版本,真空度10^-7Torr。根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格参数

型号 Model

单位 Units

RBN-25

RBN-50

RBN-75

RBN-100

RBN-125

RBN-150

RBN-175

RBN-200

RBN-225

RBN-250

RBN-275

RBN-300

行程 Travel

mm

25

50

75

100

125

150

175

200

225

250

275

300

补偿后定位精度 

Accuracy

高精版 Plus

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

普通版 Standard

±0.2

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.3

±0.4

±0.4

双向重复定位精度 

Bi-Dir Repeatability

高精版 Plus

μm

±0.025

±0.025

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

±0.075

±0.1

±0.1

±0.1

普通版 Standard

±0.05

±0.05

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.175

±0.175

±0.175

直线度

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.25

±0.35

±0.35

±0.4

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±1

±1

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±1.75

±1.75

平面度

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

±0.75

±0.75

±1

±1

±1.25

±1.25

普通版 Standard

±1

±1

±1

±1

±1

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

±1.75

±1.75

俯仰、翻滚

Pitch Roll

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

±2

±2

±2.5

±3

±3

±3

±4

±4

±4

普通版 Standard

±5

±5

±5

±5

±5

±5

±7

±7

±7

±8

±8

±8

偏摆

Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1

±1

±1

±1

±1

±1

±2

±2

±2

±3

±3

±3

普通版 Standard

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

±2.5

±5

±5

±5

±6

±6

±6

电子分辨率 Electronic Resolution

nm

0.3 或 5(选配)

微动步距

Min Incremental Step

高精版 Plus*

nm

< 1

普通版 Standard

≤ 30

定位纹波

In Position Stability

高精版 Plus*

nm

< 1

普通版 Standard

≤ 30

最大速度 (空载) Max Speed (No Load)

mm/s

50

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)

m/s²

1,(5 定制)

最大负载 Max Load

kg

15

 

注:以上精度指标,测试点在负载板上25mm高度处。

*:高精度版振动等级为VC-F;振动等级VC-G,微动步距<0.2nm。

实测数据
选型信息
型号 RBN -100 -PLUS -5 -1 -0 -DB -3 -N -N
描述 交叉滚柱运动台 行程100mm  PLUS高精版 电子分辨率5nm 增量式光栅1Vpp反馈 零点在行程中心位置 DB接头,无线缆管理 线缆长度3米 常压气压 无大理石基座

 

名称 型号 描述
单轴线轨运动台 RBN 交叉滚柱运动台
行程 -25 行程25mm 
-50 行程50mm
-75 行程75mm
-100 行程100mm
-125 行程125mm
-150 行程150mm
-175 行程175mm
-200 行程200mm
-225 行程225mm
-250 行程250mm
-275 行程275mm
-300 行程300mm
精度等级 -N 标准值
-PLUS PLUS高精版
电子分辨率 -N 默认
-0.3 电子分辨率0.3nm
-5 电子分辨率5nm
反馈方式 -1 增量式光栅1Vpp反馈
-T 增量式光栅TTL反馈
-ABS 绝对式光栅反馈
零点位置 -L 零点在行程左极限位置
-0 零点在行程中心位置(标配)
-R 零点在行程右极限位置
线缆管理 -DB DB接头,无线缆管理
线缆长度 -3 长度3米(标配)
-5 长度5米
-DZ 定制

气压环境 (1)

-N 常压环境(标配)
-VC 真空环境
大理石基座 -Y 有大理石基座
-N 无大理石基座(标配)

注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座(-Y)项。

下载
产品样本
RBN系列产品样本
2023-09-08
下载
产品手册
CAD图纸
RBN系列产品尺寸图
2023-08-18
下载
3D模型
RBN-150单轴线轨运动台 3D模型
2023-11-14
下载
RBN-50单轴线轨运动台 3D模型
2023-12-19
下载
RBN-200单轴线轨运动台 3D模型
2024-03-22
下载
报价/订购
RBN-25
行程25mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-25 PLUS
行程25mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.025μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
RBN-50
行程50mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-50 PLUS
行程50mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.25μm,平面度±0.5μm
添加至报价单
RBN-75
行程75mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-75 PLUS
行程75mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.35μm,平面度±0.5μm
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RBN-100
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-100 PLUS
行程100mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.35μm,平面度±0.5μm
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RBN-125
行程125mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1μm
添加至报价单
RBN-125 PLUS
行程125mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.05μm,直线度±0.4μm,平面度±0.5μm
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RBN-150
行程150mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
RBN-150 PLUS
行程150mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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RBN-175
行程175mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBN-175 PLUS
行程175mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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RBN-200
行程200mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
添加至报价单
RBN-200 PLUS
行程200mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,平面度±0.75μm
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RBN-225
行程225mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.15μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBN-225 PLUS
行程225mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.075μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
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RBN-250
行程250mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.175μm,直线度±1.5μm,平面度±1.5μm
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RBN-250 PLUS
行程250mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±0.75μm,平面度±1μm
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RBN-275
行程275mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.175μm,直线度±1.75μm,平面度±1.75μm
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RBN-275 PLUS
行程275mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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RBN-300
行程300mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.175μm,直线度±1.75μm,平面度±1.75μm
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RBN-300 PLUS
行程300mm,抗蠕动交叉滚柱导轨,双向重复定位精度±0.1μm,直线度±1μm,平面度±1.25μm
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