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超精密运动台的意义和应用领域有哪些
发布时间：
2023-07-26
超精密运动台在超精密加工及检测中扮演重要角色，随着超精密加工技术的不断发展，对于加工装备精度的要求越来越高，特别是微电子技术和微流控制系统的快速发展，零部件的结构尺寸急剧减小并精细，对于精度的要求已经达到亚微米级，甚至是纳米级。
许多传统的加工方法获得的产品质量难以满足发展需求，超精密运动台作为核心零部件应运而生，越来越多的企业和研究机构对于超精密运动台的领域投入大量人力物力，成为行业发展的趋势，各个企业的水平不一。
超精密气浮运动台作为超精密运动台一个重要的分支，北京瑞邦精控深耕多年，对于气浮平台系统投入大量研发费用，团队核心研发工程师拥有多年工作经验，对于材料力学、流体力学、机械设计及自动控制等综合学科积累大量理论、实践经验和科学的装配工艺方法，制造的超精密气浮平台根据客户的应用，配置贴身服务的应用方案。
超精密气浮运动台包含供气气源系统、机械部分（直线旋转气浮运动台）、电控部分（控制驱动电控箱）、气浮隔振系统和基座部分（大理石基座和钢架）等一整套解决方案。
因超精密气浮平台在运动过程中几乎不存在摩擦、无污染、高刚度及免维护等特点，广泛应用于晶圆光刻、超精密机床、生物应用、纳米级粗糙度测量等领域。
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