LVDT （Linear Variable Differential Transformer）检测系统主要用于测量die-lid间距、lid-heatsink间距、TIM的原位检测（测量BLT变化值）、对芯片warpage的测量及TIM材料热变形的分析等。当芯片存在TIM1分层的情况，使用LVDT可以较精确的测得BLT随温度变化的数据，从而对散热器的设计、TIM材料的热形变的分析等提供参考信息，瑞邦精控的精密运动台可提供精密定位。
龙门运动台技术参数
| 测试项目 | 指标要求 | 实测结果 |
| X轴行程 | 600mm | 600mm |
| X轴定位精度 | ±5μm | ±0.85μm |
| Y轴行程 | 600mm | 600mm |
| Y轴定位精度 | ±5μm | ±0.65μm |
| Z轴行程 | 250mm | 250mm |
| Z轴定位精度 | ±1μm | ±0.65μm |
产品及测试图片
