气浮转台是超精密机械中的一种新型结构,从诞生之日起就一直受到世人的关注,它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量、高精密机床研发等领域提供一个能够实现超精密定位、检测和运动的载物平台,为开展超精密加工工艺技术研究拓展了领域,能解决高精度零件在加工、检测等方面的难题。利用轴承腔内空气压力导入实现的,它使转轴悬浮在空气中并能平稳旋转,使转轴在空气中悬浮,通过轴承腔引入空气压力,使转轴保持悬浮状态,从而获得较高的轴向跳动误差。
北京瑞邦精控科技有限公司拥有多年的精密机械加工及装配经验,采用合理参数及精度分配完成了前期的设计工作,制造出多规格的气浮转台,掌握了气浮转台从设计到制造的全套技术。可水平或卧式安装,解决了气浮抱死的问题,轴向跳动误差10nm,径向跳动误差100nm,定位精度可做到1角秒内,手动旋转和电动旋转跳动误差一致,闭式气浮结构,高速度稳定性。
对气浮转台的高压气体的流动规律、压力分布、转台精度分离方法等进行了充分掌握。制造出小孔节流型气浮转台,其影响因素:高压气膜的压力分布、气源压力、节流器直径、节流器数量、均压槽深度等,找到了合理气膜刚度时的参数区间,取得了关键技术突破,使用寿命10年以上,为高精度零件的加工与检测、超精密加工工具的研制奠定了技术基础。