精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBZK系列是带中空结构的精密运动台，大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆检测应用，同时适用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。

设计特点

RBZK系列双轴中空精密运动台，叠层紧凑的中空外形结构，工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表面，在晶圆检测中至关重要。高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面，专业的装配工艺，获得直线度±1.25μm，平面度±1.5μm。

双驱结构

每轴用双直线电机驱动，龙门交叉解耦控制算法，提供双电机的运行的一致性，提供大推力、速度1m/s和准确的定位，直线电机的温度控制在室温，比滚珠丝杆传动结构的运动台，性能有了提升。

光栅反馈

每轴采用双光栅尺闭环反馈，安装位置接近工作表面，能够有效地降低系统误差影响，提升整体精度性能。可选电子分辨率≤1nm或≤5nm。

线缆管理

使用高质量无尘拖链，优化管线弯曲半径，防止动作过程中影响其性能，同时也适用在洁净室内。

规格参数

型号 Model

单位 Units

RBZK-100XY

RBZK-150XY

RBZK-200XY

RBZK-250XY

RBZK-300XY

轴系 Axis

轴系

行程 Travel

100 x 100

150 x 150

200 x 200

250 x 250

300 x300

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.2

±0.3

高精版 Plus

±0.5

普通版 Standard

±1

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.1

高精版 Plus

±0.2

普通版 Standard

±0.3

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.15

高精版 Plus

±0.3

普通版 Standard

±0.5

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.75

±1

±1.25

普通版 Standard

±1.5

±2.5

±3

±3.5

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.75

±1

±1.25

±1.5

普通版 Standard

±1.5

±1.75

±2.5

±3.5

俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±1.5

±2

±2.5

普通版 Standard

±3

±4

±5

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

≤1, ≤5（选配）

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾

m/s

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾

m/s²

5,（10, 20 定制）

最大负载 Max Load

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

RBZK-300XY 测试报告.pdf

选型信息

型号	RBZK	-300XY	-N	-N	-1	-0	-C3	-3
描述	中空精密运动台	X轴行程300mm； Y轴行程300mm；	普通版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	无尘拖链	线缆长度3米

名称	型号	描述
多轴线轨运动台	RBZK	中空精密运动台
行程	-100XY	X轴行程100mm；Y轴行程100mm
	-150XY	X轴行程150mm；Y轴行程150mm
	-200XY	X轴行程200mm；Y轴行程200mm
	-250XY	X轴行程250mm；Y轴行程250mm
	-300XY	X轴行程300mm；Y轴行程300mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-0	零点在行程中心位置（标配）
线缆管理	-C3	无尘拖链（标配）
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制