精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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规格参数

实测数据

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应用领域

RBN-XY-Z(DLM)系列是一款高精度的三轴精密运动台，XY轴安装到大理石基座上，Z轴安装到大理石横梁上，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、光学制造和科研等领域。

结构特点

XY轴三片式叠层结构，有效降低工作点高度，减小阿贝误差对系统精度的影响。Z轴采用无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。三轴直驱结构，在低速运动时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨，滚柱间线线接触，运动时平稳；交叉排列，多方向受力比较稳定。

精度性能

非接触式光栅闭环反馈，考虑热膨胀等影响，紧凑结构设计，搭配高性能控制器，获得重复定位精度±20nm，直线度和平面度±1.25μm，是高精度场所的理想选择。

微动步距

对有微动步距（最小位移量）要求的应用领域，如对准应用，微动步距≤20nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。

大理石机体

大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格参数

型号 Model

单位 Units

RBN-50XY-25Z(DLM)

RBN-50XY-50Z(DLM)

RBN-100XY-25Z(DLM)

RBN-100XY-50Z(DLM)

轴系 Axis

—

行程 Travel

100

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.05

高精版 Plus

±0.1

普通版 Standard

±0.3

±0.2

±0.3

±0.2

±0.3

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

±7.5

高精版 Plus

±20

±40

±20

±40

±20

普通版 Standard

±30

±75

±30

±75

±30

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.01

高精版 Plus

±0.025

±0.05

±0.025

±0.05

±0.025

普通版 Standard

±0.1

±0.05

±0.1

±0.05

±0.1

±0.05

±0.1

±0.05

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.25

±0.35

±0.25

±0.35

±0.25

普通版 Standard

±1

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

普通版 Standard

±1

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

≤1, ≤5（选配）

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾

mm/s

100

200

100

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾

m/s²

1,（5 定制）

最大负载 Max Load

型号 Model

单位 Units

RBN-100XY-100Z(DLM)

RBN-150XY-50Z(DLM)

RBN-150XY-100Z(DLM)

RBN-150XY-150Z(DLM)

轴系 Axis

—

行程 Travel

100

150

100

150

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.05

±0.2

±0.05

高精版 Plus

±0.1

±0.5

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±0.3

±1

±0.3

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

±7.5

±0.1

±7.5

高精版 Plus

±40

±20

±40

±0.2

±40

普通版 Standard

±75

±30

±75

±0.3

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.01

±0.15

±0.01

高精版 Plus

±0.05

±0.075

±0.025

±0.075

±0.3

±0.075

普通版 Standard

±0.1

±0.05

±0.1

±0.5

±0.1

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.35

±0.5

±0.25

±0.5

±0.75

±0.5

普通版 Standard

±1

±1.5

±1

±1.5

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.75

±0.5

±0.75

普通版 Standard

±1

±1.5

±1

±1.5

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

≤1, ≤5（选配）

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾

mm/s

200

100

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾

m/s²

1,（5 定制）

最大负载 Max Load

型号 Model

单位 Units

RBN-200XY-100Z(DLM)

RBN-200XY-150Z(DLM)

RBN-200XY-200Z(DLM)

RBN-200XY-300Z(DLM)

轴系 Axis

—

行程 Travel

200

100

200

150

200

300

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.05

±0.1

高精版 Plus

±0.15

±0.1

±0.15

±0.2

普通版 Standard

±0.3

±0.4

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

±10

±7.5

±10

±7.5

±10

±15

高精版 Plus

±50

±40

±50

±40

±50

普通版 Standard

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.015

±0.01

±0.015

±0.01

±0.015

±0.02

高精版 Plus

±0.075

±0.05

±0.075

±0.1

普通版 Standard

±0.15

±0.1

±0.15

±0.1

±0.15

±0.175

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.5

±0.35

±0.5

±1

普通版 Standard

±1.5

±1

±1.5

±1.75

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.75

±0.5

±0.75

±1.25

普通版 Standard

±1.5

±1

±1.5

±1.75

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

≤1, ≤5（选配）

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾

mm/s

200

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾

m/s²

1,（5 定制）

最大负载 Max Load

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm高度处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

实测数据

RBN-150XY-50Z(DLM) 测试报告.pdf

选型信息

型号	RBN	-50XY-50Z(DLM)	-N	-N	-1	-0	-DB	-3	-Y	-N
描述	交叉滚柱运动台	X轴行程50mm；Z轴行程50mm；Y轴行程50mm	普通版	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	DB头，无线缆管理	线缆长度3米	有线缆固定柱	无支撑钢架

名称	型号	描述
龙门系统	RBN	交叉滚柱运动台
行程	-50XY-25Z(DLM)	X轴行程50mm；Z轴行程25mm；Y轴行程50mm
	-50XY-50Z(DLM)	X轴行程50mm；Z轴行程50mm；Y轴行程50mm
	-100XY-25Z(DLM)	X轴行程100mm；Z轴行程25mm；Y轴行程100mm
	-100XY-50Z(DLM)	X轴行程100mm；Z轴行程50mm；Y轴行程100mm
	-100XY-100Z(DLM)	X轴行程100mm；Z轴行程100mm；Y轴行程100mm
	-150XY-50Z(DLM)	X轴行程150mm；Z轴行程50mm；Y轴行程150mm
	-150XY-100Z(DLM)	X轴行程150mm；Z轴行程100mm；Y轴行程150mm
	-150XY-150Z(DLM)	X轴行程150mm；Z轴行程150mm；Y轴行程150mm
	-200XY-100Z(DLM)	X轴行程200mm；Z轴行程100mm；Y轴行程200mm
	-200XY-150Z(DLM)	X轴行程200mm；Z轴行程150mm；Y轴行程200mm
	-200XY-200Z(DLM)	X轴行程200mm；Z轴行程200mm；Y轴行程200mm
	-200XY-300Z(DLM)	X轴行程200mm；Z轴行程300mm；Y轴行程200mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-0	零点在行程中心位置
线缆管理	-DB	DB头，无线缆管理
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
线缆固定柱	-Y	有线缆固定柱
线缆固定柱	-N	无线缆固定柱（标配）
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）

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产品样本

RBN-XY-Z(DLM)系列产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

RBN-XY-Z(DLM)系列产品尺寸图

2023-08-18

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3D模型

报价/订购

RBN-50XY-25Z(DLM)

XY轴行程50mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm；Z轴行程25mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-50XY-25Z(DLM) PLUS

XY轴行程50mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm；Z轴行程25mm，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-50XY-25Z(DLM) Ultra

XY轴行程50mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm；Z轴行程25mm，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-50XY-50Z(DLM)

XY轴行程50mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-50XY-50Z(DLM) PLUS

XY轴行程50mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-50XY-50Z(DLM) Ultra

XY轴行程50mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-100XY-25Z(DLM)

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm；Z轴行程25mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-100XY-25Z(DLM) PLUS

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm；Z轴行程25mm，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-100XY-25Z(DLM) Ultra

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm；Z轴行程25mm，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.25μm，平面度±0.5μm

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RBN-100XY-50Z(DLM)

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-100XY-50Z(DLM) PLUS

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-100XY-50Z(DLM) Ultra

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.35μm，平面度±0.5μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-100XY-100Z(DLM)

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-100XY-100Z(DLM) PLUS

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-100XY-100Z(DLM) Ultra

XY轴行程100mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-150XY-50Z(DLM)

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-150XY-50Z(DLM) PLUS

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.025μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-150XY-50Z(DLM) Ultra

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程50mm，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-150XY-100Z(DLM)

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-150XY-100Z(DLM) PLUS

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-150XY-100Z(DLM) Ultra

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-150XY-150Z(DLM)

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-150XY-150Z(DLM) PLUS

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBN-150XY-150Z(DLM) Ultra

XY轴行程150mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBN-200XY-100Z(DLM)

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1μm

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RBN-200XY-100Z(DLM) PLUS

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.05μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-200XY-100Z(DLM) Ultra

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程100mm，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±0.5μm，平面度±0.5μm

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RBN-200XY-150Z(DLM)

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-200XY-150Z(DLM) PLUS

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBN-200XY-150Z(DLM) Ultra

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程150mm，双向重复定位精度±0.01μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBN-200XY-200Z(DLM)

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；Z轴行程200mm，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；

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RBN-200XY-200Z(DLM) PLUS

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程200mm，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

添加至报价单

RBN-200XY-200Z(DLM) Ultra

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程200mm，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm

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RBN-200XY-300Z(DLM)

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm；Z轴行程300，双向重复定位精度±0.175μm，直线度±1.75μm，平面度±1.75μm

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RBN-200XY-300Z(DLM) PLUS

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.075μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程300mm，双向重复定位精度±0.1μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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RBN-200XY-300Z(DLM) Ultra

XY轴行程200mm，三片式叠层结构，双向重复定位精度±0.015μm，直线度±0.5μm，平面度±0.75μm；Z轴行程300mm，双向重复定位精度±0.02μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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