精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBLM系列是一款直驱线轨精密运动台，其具有高刚性，大负载，高精度等优越的性能，多种行程可选择，用于激光加工、测试测量、高精度扫描及自动化装配等领域。

结构特点

采用无铁芯直线电机，非常适合要求高精度的需求，直线电机具有高动态性能、零齿槽效应和电子噪声小等特点。配置自润滑的精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好等，使RBLM系列精密运动台成为工业应用的理想选择，如激光加工应用方案。

精度性能

采用直线光栅尺闭环反馈，考虑材料热膨胀的影响，对结构设计、加工及装配工艺等严格把控，行程可达2m，双向重复定位精度≤±0.3μm。

防尘管理

RBLM系列精密运动台的防尘设计，防止碎片、灰尘和颗粒等异物进入运动台，影响使用寿命，同时不受防尘罩扰动力的影响。

定制化

可定制用于真空环境下的版本，真空度10^-7Torr。根据应用可配置大理石基座、隔振器、支撑钢架等整套运动控制方案。高速度和高加速度也可以定制。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBLM-100	RBLM-200	RBLM-300	RBLM-400	RBLM-500	RBLM-600
行程 Travel		mm	100	200	300	400	500	600
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.2	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4	±0.4
	高精版 Plus		±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75	±0.75
	普通版 Standard		±1	±1	±1	±1	±1	±1
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.15
	高精版 Plus		±0.2	±0.2	±0.2	±0.25	±0.25	±0.25
	普通版 Standard		±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.25	±0.25	±0.25
	高精版 Plus		±0.3	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4	±0.4
	普通版 Standard		±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.75	±1	±1.25	±1.75	±1.75	±2.25
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1.5	±2.5	±3.5	±4.5	±5.5	±6.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	±1.25	±1.5	±1.5	±2	±2.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1.5	±2.5	±3.5	±4.5	±5.5	±6.5
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5	±2	±2.5	±3	±3.5	±4
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±3	±4	±5	±6	±7	±8
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	0.2	0.3	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（20, 30, 40 定制）
最大负载 Max Load		kg	30

型号 Model		单位 Units	RBLM-700	RBLM-800	RBLM-1000	RBLM-1200	RBLM-1500	RBLM-2000
行程 Travel		mm	700	800	1000	1200	1500	2000
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75	±0.75
	高精版 Plus		±1	±1	±1	±1.5	±1.5	±1.5
	普通版 Standard		±1.5	±1.5	±1.5	±2	±2	±2
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2	±0.3
	高精版 Plus		±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.5
	普通版 Standard		±0.5	±0.5	±0.5	±0.75	±0.75	±0.75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3	±0.3
	高精版 Plus		±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75
	普通版 Standard		±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1	±1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±2.25	±2.25	±2.75	±5	±7	±9
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±7	±8	±9.5	±10	±12	±15
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±2.5	±2.5	±3.5	±5	±7	±9
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±7	±8	±9.5	±10	±12	±15
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±4.5	±4.5	±5	±6	±7	±8
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	普通版 Standard	arc sec	±8.5	±9	±10	±12	±14	±16
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	5,（20, 30, 40 定制）
最大负载 Max Load		kg	30

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, ≤ 1, ≤ 50
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, ≤ 1, ≤ 50

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下的精度指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

实测数据

RBLM-2000 定位精度和重复定位精度实测报告.pdf

选型信息

型号	RBLM	-100	-N	-M	-N	-1	-0	-C4	-3	-N	-N
描述	单轴精密运动台	行程100mm	普通版	大理石材质机体	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	坦克拖链	线缆长度3米	常压环境	无大理石基座

名称	型号	描述
单轴精密运动台	RBLM	单轴精密运动台
行程	-100	行程100mm
	-200	行程200mm
	-300	行程300mm
	-400	行程400mm
	-500	行程500mm
	-600	行程600mm
	-700	行程700mm
	-800	行程800mm
	-900	行程900mm
	-1000	行程1000mm
	-1200	行程1200mm
	-1500	行程1500mm
	-2000	行程2000mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
机体类型 ⁽¹⁾	-A	铝合金材质机体
机体类型 ⁽¹⁾	-M	大理石材质机体
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-C3	无尘拖链
	-C4	坦克拖链（标配）
	-C5	真空线缆
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
气压环境	-N	常压环境（标配）
气压环境	-VC	真空环境
大理石基座^（2）	-Y	有大理石基座
大理石基座^（2）	-N	无大理石基座（标配）

注：1. 选用大理石材质机体（-M）项，不需再选大理石基座（-Y）。
2. 选真空环境下（-VC）使用，禁止选大理石材质机体（-M）项。

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产品样本

RBLM系列产品样本

2023-09-08

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产品手册

CAD图纸

RBLM系列产品尺寸图

2023-08-18

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3D模型

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RBLM-100

行程100mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±1.5μm，平面度±1.5μm

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RBLM-100 PLUS

行程100mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBLM-100 Ultra

行程100mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±0.75μm，平面度±0.75μm

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RBLM-200

行程200mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.5μm，平面度±2.5μm

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RBLM-200 PLUS

行程200mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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RBLM-200 Ultra

行程200mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1μm，平面度±1.25μm

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RBLM-300

行程300mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±3.5μm，平面度±3.5μm

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RBLM-300 PLUS

行程300mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm

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RBLM-300 Ultra

行程300mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.15μm，直线度±1.25μm，平面度±1.5μm

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RBLM-400

行程400mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±4.5μm，平面度±4.5μm

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RBLM-400 PLUS

行程400mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.4μm，直线度±1.75μm，平面度±1.5μm

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RBLM-400 Ultra

行程400mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±1.75μm，平面度±1.5μm

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RBLM-500

行程500mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±5.5μm，平面度±5.5μm

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RBLM-500 PLUS

行程500mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.4μm，直线度±1.75μm，平面度±2μm

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RBLM-500 Ultra

行程500mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±1.75μm，平面度±2μm

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RBLM-600

行程600mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±6.5μm，平面度±6.5μm

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RBLM-600 PLUS

行程600mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.4μm，直线度±2.25μm，平面度±2.5μm

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RBLM-600 Ultra

行程600mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.25μm，直线度±2.25μm，平面度±2.5μm

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RBLM-700

行程700mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.75μm，直线度±7μm，平面度±7μm

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RBLM-700 PLUS

行程700mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.25μm，平面度±2.5μm

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RBLM-700 Ultra

行程700mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±2.25μm，平面度±2.5μm

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RBLM-800

行程800mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.75μm，直线度±8μm，平面度±8μm

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RBLM-800 PLUS

行程800mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.25μm，平面度±2.5μm

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RBLM-800 Ultra

行程800mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±2.25μm，平面度±2.5μm

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RBLM-1000

行程1000mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.75μm，直线度±9.5μm，平面度±9.5μm

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RBLM-1000 PLUS

行程1000mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±2.75μm，平面度±3.5μm

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RBLM-1000 Ultra

行程1000mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±2.75μm，平面度±3.5μm

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RBLM-1200

行程1200mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±1μm，直线度±10μm，平面度±10μm

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RBLM-1200 PLUS

行程1200mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±5μm，平面度±5μm

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RBLM-1200 Ultra

行程1200mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±5μm，平面度±5μm

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RBLM-1500

行程1500mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±1μm，直线度±12μm，平面度±12μm

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RBLM-1500 PLUS

行程1500mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.5μm，直线度±7μm，平面度±7μm

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RBLM-1500 Ultra

行程1500mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±7μm，平面度±7μm

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RBLM-2000

行程2000mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±1μm，直线度±15μm，平面度±15μm

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RBLM-2000 PLUS

行程2000mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.75μm，直线度±9μm，平面度±9μm

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RBLM-2000 Ultra

行程2000mm，配置自润滑的精密滚柱导轨，双向重复定位精度±0.3μm，直线度±9μm，平面度±9μm

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