精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

RBN-275-110Z -TC 四轴精密运动台用于曲面轮廓测量。

产品简介

X轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程275mm，用于连续扫描运动，安装到大理石横梁上，定位纹波优于20nm。
Z轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程110mm，用于连续扫描运动，Z轴垂直安装到X轴上，定位纹波优于20nm。
TC轴采用气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，径向刚度大，解决气浮轴抱死的问题，跳动误差优于100nm。
四轴精密运动台采用大理石为机体，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格参数

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标 Specification
X 轴 X AXIS	行程 Travel	mm	275
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.3
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	nm	±75
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1.5
	俯仰、翻滚 Pitch、Roll	arc sec	±10
	偏摆 Yaw	arc sec	±10
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	mm/s	500
	最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)	g	1
Z 轴 Z AXIS	行程 Travel	mm	110
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±0.2
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	nm	±75
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1.5
	俯仰、翻滚 Pitch、Roll	arc sec	±10
	偏摆 Yaw	arc sec	±10
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	mm/s	200
	最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load)	g	0.5
T 轴 T AXIS	行程 Travel	°	±180
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±1
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±0.5
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	nm	100
	径向跳动误差 Radial Error Motion	nm	100
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	rpm	30
C 轴 C AXIS	行程 Travel	°	360
	补偿后定位精度 Accuracy	arc sec	±1
	双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	arc sec	±0.5
	轴向跳动误差 Axial Error Motion	nm	100
	径向跳动误差 Radial Error Motion	nm	100
	最大速度 (空载) Max Speed (No Load)	rpm	300
XZT	负载 Load	kg	5
C	负载 Load	kg	40