精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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RBLBAC-BZ-XY系列是一款高精度的双轴精密运动台，具有纳米级定位精度，断使能抱闸功能，结构紧凑，可吊装（倒置）使用，用于光学检测、半导体技术及光纤对准等高精度领域。

结构特点

主要采用伺服电机驱动、抗蠕动交叉滚柱导轨和光栅尺闭环反馈组成。面式十字叠层结构，外形结构紧凑，可使工作点降低，减小阿贝误差对系统精度的影响；具有断使能抱闸功能，实现真正零伺服抖动；抱闸位移亚微米漂移，更高可定制；可吊装（倒置）安装使用，结构也可接受定制。

精度性能

双轴精密运动台的定位精度±0.1μm，高重复定位精度±20nm，直线度±0.75μm，是高精度场所的理想选择。

定制化

定制用于真空环境下的版本，真空度到10^-7 Torr；可配置大理石基座、支撑钢架、隔振器等整套运动控制方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBLBAC-BZ-50XY	RBLBAC-BZ-100XY	RBLBAC-BZ-150XY	RBLBAC-BZ-210XY	RBLBAC-BZ-250XY	RBLBAC-BZ-310XY
行程 Travel		mm	50 x 50	100 x 100	150 x 150	210 x 210	250 x 250	310 x 310
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05	±0.05	±0.05	±0.1	±0.1	±0.1
	高精版 Plus		±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.3
	普通版 Standard		±0.4	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5	±0.75
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±15	±15
	高精版 Plus		±20	±40	±40	±50	±50	±50
	普通版 Standard		±30	±75	±75	±75	±75	±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01	±0.01	±0.01	±0.015	±0.02	±0.02
	高精版 Plus		±0.05	±0.05	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075
	普通版 Standard		±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1	±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5	±0.5	±0.75
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1.5	±1.5	±2
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1	±1.5
平面度 ⁽¹⁾ Flatness	普通版 Standard	μm	±1	±1	±1	±1.5	±1.5	±2
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	高精版 Plus	arc sec	±3	±3	±3	±4	±4	±5
俯仰、翻滚 ⁽¹⁾ Pitch Roll	普通版 Standard	arc sec	±6	±6	±6	±7.5	±7.5	±9
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	高精版 Plus	arc sec	±1.5	±1.5	±1.5	±2	±2	±2.5
偏摆 ⁽¹⁾ Yaw	普通版 Standard	arc sec	±3	±3	±3	±4	±4	±5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		mm/s	20
最大负载 Max Load		kg	20			40		50

特殊项目 Special Items ⁽⁴⁾	单位 Units	数值 Data
微动步距 Min Incremental Step	nm	默认, ≤ 10 ≤ 100
定位纹波 In Position Stability	nm	默认, ≤ 10 ≤ 100

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 无特殊项目要求，出厂默认为准。

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产品样本

RBLBAC-BZ-XY系列双轴精密运动台产品样本

2026-05-26

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