精密气浮转台-两轴气浮直线台-多轴气浮运动台-气浮位移台-北京瑞邦精控

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应用领域

QFU-XY-CG系列是一款高精度三轴精密运动台，定龙门结构，亚微米级精度用于飞秒激光加工、高精度扫描、光学检测、半导体及光子学等行业。

结构特点

XY轴为非接触、闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力更强，模态更高，对于大体积、大负载及偏心安装等负载形式，更能突显其性能优势。

Z轴为抗蠕动交叉滚柱导轨，滚柱间线接触，比滚珠接触面积大，交叉排列，多方向受力稳定，该结构可以把Z轴厚度降低，有利于行业应用。

精度性能

XY轴气浮结构实现无摩擦和无振动地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮台的直线度、平面度，Pitch Yaw指标得到了很大地提高，由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质地提升。Z轴实现纳米级定位纹波。

大理石机体

大理石作为机体，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。

线缆管理

精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，使用高质量带屏蔽层的排线，以确保无故障操作。

规格参数

型号 Model		单位 Units	QFU-50XY-25CG			QFU-100XY-50CG			QFU-150XY-75CG
轴系 Axis		—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程 Travel		mm	50	50	25	100	100	50	150	150	75
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05		±0.05	±0.05		±0.05	±0.05		±0.05
	高精版 Plus		±0.1		±0.1	±0.1		±0.1	±0.15		±0.1
	普通版 Standard		±0.2		±0.2	±0.2		±0.3	±0.3		±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5		±7.5	±7.5		±7.5	±10		±7.5
	高精版 Plus		±30		±20	±30		±20	±50		±40
	普通版 Standard		±75		±30	±75		±30	±75		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01		±0.01	±0.01		±0.01	±0.015		±0.01
	高精版 Plus		±0.05		±0.025	±0.05		±0.025	±0.075		±0.05
	普通版 Standard		±0.1		±0.05	±0.1		±0.05	±0.1		±0.1
直线度 ⁽¹⁾ Straightness	高精版 Plus	μm	±0.05		±0.25	±0.05		±0.25	±0.2		±0.35
	普通版 Standard		±0.25		±1	±0.25		±1	±0.5		±1
平面度⁽¹⁾ Flatness	高精版 Plus	μm	±0.1		±0.5	±0.1		±0.5	±0.2		±0.5
	普通版 Standard		±0.35		±1	±0.4		±1	±0.5		±1
俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾ Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±0.35		±1	±0.4		±1	±0.75		±1
	普通版 Standard		±1		±5	±1		±5	±1.5		±5
电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾		m/s	0.1		0.05	0.3		0.1	0.3		0.1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾		m/s²	XY 5,（10, 20 定制）
最大负载 Max Load		kg	20		15	20		15	20		15
供气压力 Operating Pressure⁽⁴⁾		MPa	0.5±0.05

型号 Model

单位 Units

QFU-200XY-100CG

QFU-250XY-125CG

QFU-300XY-150CG

轴系 Axis

—

行程 Travel

200

100

250

125

300

150

补偿后定位精度

Accuracy

超精版 Ultra

μm

±0.05

±0.1

±0.05

±0.1

±0.05

高精版 Plus

±0.15

±0.1

±0.15

±0.1

±0.15

普通版 Standard

±0.3

单向重复定位精度

Uni-Repeatability

超精版 Ultra

±10

±7.5

±15

±7.5

±15

±7.5

高精版 Plus

±50

±40

±50

±40

±50

±40

普通版 Standard

±75

双向重复定位精度

Bi-Dir Repeatability

超精版 Ultra

μm

±0.015

±0.01

±0.02

±0.01

±0.02

±0.01

高精版 Plus

±0.075

±0.05

±0.075

±0.05

±0.075

普通版 Standard

±0.1

直线度 ⁽¹⁾

Straightness

高精版 Plus

μm

±0.2

±0.35

±0.25

±0.4

±0.25

±0.5

普通版 Standard

±0.5

±1

±0.5

±1

±0.5

±1.5

平面度 ⁽¹⁾

Flatness

高精版 Plus

μm

±0.2

±0.5

±0.4

±0.5

±0.4

±0.75

普通版 Standard

±0.5

±1

±0.75

±1

±0.75

±1.5

俯仰、翻滚、偏摆 ⁽¹⁾

Pitch Roll Yaw

高精版 Plus

arc sec

±0.75

±2

±0.75

±2

±0.75

±2.5

普通版 Standard

±1.5

±5

±1.5

±5

±1.5

±5

电子分辨率 Electronic Resolution ⁽²⁾

≤ 1, ≤ 5（选配）

最大速度 (空载) Max Speed (No Load) ⁽³⁾

m/s

0.2

最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) ⁽³⁾

m/s²

XY 5,（10, 20 定制）

最大负载 Max Load

供气压力 Operating Pressure ⁽⁴⁾

MPa

0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

实测数据

选型信息

型号	QFU	-100XY-50SG	-N	-A	-N	-1	-0	-C2	-3	-Y
描述	闭式气浮运动台	X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程50mm	普通版	XY轴铝合金材质气浮导轨	默认	增量式光栅1Vpp反馈	零点在行程中心位置	带屏蔽的高柔排线	线缆长度3米	有支撑钢架

名称	型号	描述
笛卡尔龙门系统	QFU	闭式气浮运动台
行程	-50-50-25CG	X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程25mm
	-100-100-50CG	X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程50mm
	-150-150-75CG	X轴行程150mm；Y轴行程150mm；Z轴行程75mm
	-200-200-100CG	X轴行程200mm；Y轴行程200mm；Z轴行程100mm
	-250-250-125CG	X轴行程250mm；Y轴行程250mm；Z轴行程125mm
	-300-300-150CG	X轴行程300mm；Y轴行程300mm；Z轴行程150mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
气浮导轨类型	-A	XY轴铝合金材质气浮导轨
	-M	XY轴大理石材质气浮导轨
	-C	XY轴陶瓷材质气浮导轨
	-S	XY轴碳化硅材质气浮导轨
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-C2	XY轴带屏蔽的高柔排线（标配）
线缆管理	-C3	XY轴无尘拖链
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）