精密运动台

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应用领域

RBLBAC-XY-CG系列是一款高精度三轴精密运动台，定龙门结构，具有纳米级微动步距，百纳米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、激光微加工、测试测量及光学检测等领域。

结构特点

XY轴采用双直线电机驱动，推力大，高动态性能，在低速运行时保持稳定，在高速状态下不会产生振动。每轴为抗蠕动交叉滚柱导轨，滚柱间线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。平面式叠层式结构紧凑，降低XY轴高度，提升整体精度性能。Z轴配置的重力平衡气缸可有效抵消电机持续向上输出力，提升精度性能。

精度性能

XY轴的定位精度±0.1‌μm，重复定位精度±20nm，直线度±0.75‌μm，Z轴重复定位精度±15nm，纳米级定位纹波，是高精度场所的理想选择。

精密控制

配合高性能的控制和驱动器，可提高优异的伺服性能、先进的控制算法，从而提高动态性能，控制器有误差补偿功能。

定制化

XY轴可定制断电抱闸功能，抱闸后位置相比抱闸前位置漂移误差20nm内；根据应用可定制行程、配置隔振台等整套性能方案。

规格参数

型号 Model		单位 Units	RBLBAC-50XY-25CG			RBLBAC-100XY-50CG			RBLBAC-150XY-75CG
轴系 Axis		—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程 Travel		mm	50	50	25	100	100	50	150	150	75
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.05		±0.05	±0.05		±0.05	±0.05		±0.05
	高精版 Plus		±0.1		±0.1	±0.1		±0.1	±0.1		±0.1
	普通版 Standard		±0.4		±0.2	±0.4		±0.3	±0.4		±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±7.5		±7.5	±7.5		±7.5	±7.5		±7.5
	高精版 Plus		±20		±20	±40		±20	±40		±40
	普通版 Standard		±30		±30	±75		±30	±75		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.01		±0.01	±0.01		±0.01	±0.01		±0.01
	高精版 Plus		±0.05		±0.025	±0.05		±0.025	±0.075		±0.05
	普通版 Standard		±0.1		±0.05	±0.1		±0.05	±0.1		±0.1
直线度 (1) Straightness	高精版 Plus	μm	±0.4		±0.25	±0.4		±0.25	±0.5		±0.35
	普通版 Standard		±1		±1	±1		±1	±1		±1
平面度 (1) Flatness	高精版 Plus	μm	±0.75		±0.5	±0.75		±0.5	±0.75		±0.5
	普通版 Standard		±1		±1	±1		±1	±1		±1
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±3		±1	±3		±1	±3		±1
	普通版 Standard		±6		±5	±6		±5	±6		±5
电子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)		m/s	0.1		0.05	0.3		0.1	0.3		0.1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)		m/s²	XY 2,（5, 10 定制）
最大负载 Max Load		kg	20		15	20		15	20		15

型号 Model		单位 Units	RBLBAC-210XY-100CG			RBLBAC-250XY-150CG			RBLBAC-310XY-200CG
轴系 Axis		—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程 Travel		mm	210	210	100	250	250	150	310	310	200
补偿后定位精度 Accuracy	超精版 Ultra	μm	±0.1		±0.05	±0.1		±0.05	±0.1		±0.05
	高精版 Plus		±0.15		±0.1	±0.15		±0.15	±0.3		±0.15
	普通版 Standard		±0.5		±0.3	±0.5		±0.3	±0.75		±0.3
单向重复定位精度 Uni-Repeatability	超精版 Ultra	nm	±10		±7.5	±15		±7.5	±15		±10
	高精版 Plus		±50		±40	±50		±40	±50		±50
	普通版 Standard		±75		±75	±75		±75	±75		±75
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability	超精版 Ultra	μm	±0.015		±0.01	±0.02		±0.01	±0.02		±0.015
	高精版 Plus		±0.075		±0.05	±0.075		±0.075	±0.075		±0.075
	普通版 Standard		±0.1		±0.1	±0.1		±0.1	±0.1		±0.15
直线度 (1) Straightness	高精版 Plus	μm	±0.5		±0.35	±0.5		±0.5	±0.75		±0.5
	普通版 Standard		±1.5		±1	±1.5		±1.5	±2		±1.5
平面度 (1) Flatness	高精版 Plus	μm	±1		±0.5	±1		±0.75	±1.5		±0.75
	普通版 Standard		±1.5		±1	±1.5		±1.5	±2		±1.5
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw	高精版 Plus	arc sec	±4		±2	±4		±2.5	±5		±3
	普通版 Standard		±7.5		±5	±7.5		±5	±9		±7
电子分辨率 Electronic Resolution (2)		nm	≤ 1, ≤ 5（选配）
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3)		m/s	0.3		0.1	0.3		0.1	0.3		0.1
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3)		m/s²	XY 2,（5, 10 定制）
最大负载 Max Load		kg	40		15	40		15	50		15

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. 取决于平台安装表面的平面度。

2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小

实测数据

选型信息

型号

RBLBAC

-100XY-50CG

-N

-1

-0

-DB

-3

-Y

描述

交叉滚柱运动台

X轴行程100mm；

Y轴行程100mm；

Z轴行程50mm

普通版

默认

增量式光栅1Vpp反馈

零点在行程中心位置

DB接头，无线缆管理

线缆长度3米

有支撑钢架

名称	型号	描述
笛卡尔龙门系统	RBLBAC	交叉滚柱运动台
行程	-50XY-25CG	X轴行程50mm；Y轴行程50mm；Z轴行程25mm
	-100XY-50CG	X轴行程100mm；Y轴行程100mm；Z轴行程50mm
	-150XY-75CG	X轴行程150mm；Y轴行程150mm；Z轴行程75mm
	-210XY-100CG	X轴行程210mm；Y轴行程210mm；Z轴行程100mm
	-250XY-150CG	X轴行程250mm；Y轴行程250mm；Z轴行程150mm
	-310XY-200CG	X轴行程310mm；Y轴行程310mm；Z轴行程200mm
精度等级	-N	Standard普通版
	-P	Plus高精版
	-U	Ultra超精版
电子分辨率	-N	默认
	-1	电子分辨率 ≤1nm
	-5	电子分辨率 ≤5nm
反馈方式	-1	增量式光栅1Vpp反馈
	-T	增量式光栅TTL反馈
	-ABS	绝对式光栅反馈
零点位置	-L	零点在行程左极限位置
	-0	零点在行程中心位置（标配）
	-R	零点在行程右极限位置
线缆管理	-DB	DB接头，无线缆管理（标配）
线缆管理	-C3	XY轴无尘拖链，Z轴无
线缆长度	-3	长度3米（标配）
	-5	长度5米
	-DZ	定制
支撑钢架	-Y	有支撑钢架
支撑钢架	-N	无支撑钢架（标配）