通常运动台行程在100*100mm满足大部分应用,对超出100mm区域的加工,对运动台的性能挑战非常大, 飞秒激光微纳加工的大面积刻写,核心诉求是“高精度 + 大尺度 + 高效率” 的统一,既保留飞秒加工方式、运动台精度可控、材料适配的独特优势,又突破单点扫描的工业化瓶颈,让微纳结构从“样品”走向“产品”,我们有类似的解决方案。
三轴精密运动台特点: