气浮运动台在行业的规则里，都是按照数控机床的规范ISO 230-2，GB/T 17421实施的。当然德国VDI，日本JIS等不同国家有不同的标准，总体来说，最终是根据用户的应用作为参考的，在国内用的最多的是ISO和GB标准。

2022-08-17

气浮运动台的精度指标：直线台：定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw，直线度：运动台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向偏差；平面度：（又称垂直于直线度）运动台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差。

2022-08-16

气浮运动台的气浮导轨基于空气轴承的基本原理，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点，同时还具有误差均化作用，来获得较高的导向精度。气浮导轨在测量设备、精密机械中得到了广泛的应用。

2022-08-12

气浮运动台是一种精密运动台。在常见的设备中，经常看到一些运动装置，按驱动方式分为步进电机、伺服旋转电机、直线电机、音圈电机及压电陶瓷电机等；按导轨导向分类为机械导轨（摩擦式）和气浮导轨（非接触式），其中光刻机用的磁悬浮也为非接触式，但成本相当昂贵；按反馈形式分为开环、半闭环和闭环，步进电机为开环，伺服电机为半闭环，直线电机驱动搭配光栅尺行程闭环反馈。

2022-08-11