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气浮运动台介绍(四)
气浮运动台在行业的规则里,都是按照数控机床的规范ISO 230-2,GB/T 17421实施的。当然德国VDI,日本JIS等不同国家有不同的标准,总体来说,最终是根据用户的应用作为参考的,在国内用的最多的是ISO和GB标准。
2022-08-17
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气浮运动台介绍(三)
气浮运动台的精度指标:直线台:定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw,直线度:运动台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向偏差;平面度:(又称垂直于直线度)运动台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差。
2022-08-16
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气浮运动台介绍(二)
气浮运动台的气浮导轨基于空气轴承的基本原理,实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点,同时还具有误差均化作用,来获得较高的导向精度。气浮导轨在测量设备、精密机械中得到了广泛的应用。
2022-08-12
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气浮运动台介绍(一)
气浮运动台是一种精密运动台。在常见的设备中,经常看到一些运动装置,按驱动方式分为步进电机、伺服旋转电机、直线电机、音圈电机及压电陶瓷电机等;按导轨导向分类为机械导轨(摩擦式)和气浮导轨(非接触式),其中光刻机用的磁悬浮也为非接触式,但成本相当昂贵;按反馈形式分为开环、半闭环和闭环,步进电机为开环,伺服电机为半闭环,直线电机驱动搭配光栅尺行程闭环反馈。
2022-08-11
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