高精度和高分辨率的气浮平台系统在近代工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。它直接影响精密、超精密切削加工水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。气浮平台系统的定位精度和行程范围直接影响到生产加工的精度和加工能力。同时工作台的速度、加速度及启停过程的稳定时间则影响到设备的效率，成为系统的重要指标。

2022-02-11

由于气浮导轨具有高精度、低阻尼、低摩擦、无污染等优点；同时，直线电机具有无接触、速度快、精度高、噪声低等特点，在运动系统中能够直接产生直线运动，避免了滚珠丝杠、螺母等中间传动机构，实现了直接驱动。

2022-02-11

气浮运动台基于空气轴承的基本原理，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。在测量设备、精密机械中得到了广泛的应用。在气体润滑的表现上看，承载能力、气体流量均有超常规表现，特别是最关键的性能指标位移精度上，相对于传统导轨有着成数量级的明显优势，精密机械、测量仪器等领域使用气浮导轨是行业发展的必然趋势。

2022-01-08

气浮转台是把转轴在空气中悬浮起来进行非接触式旋转，这种悬浮是轴承腔内导入的空气压力来实现的，泄压的缝隙特别小，获得了较高的轴向和径向跳动误差。应用于晶圆加工与检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。

2022-01-08