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气浮运动台介绍(四)
发布时间:2022-08-17

气浮运动台的测试仪器:

气浮直线轴:

Renishaw XL80激光干涉仪:气浮直线轴的定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Yaw。见下图



气浮转轴:

Renishaw XL80激光干涉仪测试气浮转台的定位精度、重复定位精度。



Tesa测微仪和纳米标准球:气浮转台的轴向跳动误差和径向跳动误差。



气浮运动台的测试标准

在行业的规则里,都是按照数控机床的规范ISO 230-2,GB/T 17421实施的。当然德国VDI,日本JIS等不同国家有不同的标准,总体来说,最终是根据用户的应用作为参考的,在国内用的最多的是ISO和GB标准。

其次关于测量仪器,行业通用默认的是雷尼绍的氦氖激光干涉仪进行测试直线轴的精度,根据不同的镜组,对于直线轴的定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch Roll Yaw等指标进行测试。

然后我们说下测试环境的温度,温度的变化对测试精度影响也是很重要的,一般我们要求在20℃,当然温差约小越好。我们用精密运动平台做过大量的实验,单从温度角度介绍,设定温度在20℃,当温度变化0.25℃以内,定位精度不会发生变化,当温度恢复到20℃,定位精度也会恢复,所以我们产品的可靠性很高。