气浮运动台的精度指标：

直线台：定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw，见下图。

直线度：运动台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向偏差；

平面度：（又称垂直于直线度）运动台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差；

Pitch：围绕X方向的角度误差；

Roll：围绕Y轴方向的角度误差；

Yaw：围绕Z方向的角度误差。

转台：定位精度、重复定位精度、轴向跳动、径向跳动及倾角误差，见下图。

轴向跳动：转台的旋转轴同轴向发生的误差；

径向跳动：转台在指定轴向位置垂直于旋转台旋转轴发生的误差；