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气浮运动台介绍(二)
发布时间:2022-08-12

下面我们会介绍瑞邦精控气浮运动台:

直驱电机的优势:

采用无铁芯直驱电机,非常适合高精度的场所应用,根据负载、速度及加速度等要求计算电机的推力,控制器电流大小等,特点是:

高动态性能;

无齿槽效应;

电流噪声小



气浮运动台是什么:

气浮运动台有直线运动和旋转运动,是一种用气浮导轨或气浮轴承做支撑为导向的运动装置。


气浮直线台的构成:

核心部件由气浮导轨导向,直线电机质心驱动、精密直线光栅尺闭环反馈及精密结构件组成,见下图

气浮转台构成:

气浮转台优势:

我们自研的气浮转台达到国际先进水平,解决气浮转台上应用难题,具有以下特点。

定位精度1角秒内;

最高同步轴向跳动10nm;

回零精度精准;

电动和手动测试跳动误时是一致;

解决气浮轴承抱死的问题。


气浮导轨或轴承的优势:

气浮导轨基于空气轴承的基本原理,实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点,同时还具有误差均化作用,来获得较高的导向精度。气浮导轨在测量设备、精密机械中得到了广泛的应用。

气浮导轨和轴承采用小孔节流的方式,我们对这种结构应用经验非常成熟,在市场上得到验证,精度性能有保证,同时耗气量小。


光栅尺闭环反馈

非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑式结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,选取英国雷尼绍光栅尺,栅距为20μm,正余弦模拟量信号细分到5nm(电子分辨率)。气浮转台选用雷尼绍圆光栅,材质为不锈钢,底面锥形结构,热膨胀系数为15.5 ±0.5 μm/m/°C(20℃)。