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气浮平台
发布时间:2022-02-11


高精度和高分辨率的气浮平台系统在近代工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。它直接影响精密、超精密切削加工水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。气浮平台系统的定位精度和行程范围直接影响到生产加工的精度和加工能力。同时工作台的速度、加速度及启停过程的稳定时间则影响到设备的效率,成为系统的重要指标。

由于精密及超精密气浮平台的定位精度和分辨率多在亚微米级,工作环境的影响不容忽视。温度的变化直接影响平台的定位精度,外部振动会影响系统的稳定性,环境温度与湿度的变化会影响传感器的精度。因此精密及超精密气浮平台的工作环境要求极高,对温度及湿度的变化一般控制到20 ± 0.1℃和湿度50% 士 5%以内,更高精度的平台则要求控制到温度变化20 ± 0.01以内。而恒温车间的建造价格极高,为达到极小的温度变化,多采用多级恒温车间嵌套的措施,更加增加了建设成本,同时空调等设备的运行费用也不可忽视。

这些因素使得精密及超精密气浮平台在正常的工业环境中应用受到了很大的制约。因此有必要提出一种新的设计观念,从一开始就综合考虑车间工作环境建造成本、运行费用、使用要求、工作台技术指标、制造成本等技术经济因素, 通过新材料和新的控制技术在精密及超精密气浮平台中的应用,降低气浮给平台对使用环境的要求和整个生命周期的研制使用费用,提高精密及超精密气浮平台的综合性能。这对精密及超精密气浮平台的推广应用,提高我国的制造业水平有着重要的意义。