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气浮运动台的结构形式
发布时间:2022-01-08

气浮运动台基于空气轴承的基本原理,实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。在测量设备、精密机械中得到了广泛的应用。在气体润滑的表现上看,承载能力、气体流量均有超常规表现,特别是最关键的性能指标位移精度上,相对于传统导轨有着成数量级的明显优势,精密机械、测量仪器等领域使用气浮导轨是行业发展的必然趋势。

以下是瑞邦精控气浮运动台的结构形式:

1.     平面式气浮结构

XY轴采用平面气浮结构,运动结构共面,两轴的光栅或激光尺反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,尽量避免因叠层引起的阿贝误差影响。主要应用晶圆加工、检测及测试测量等行业。

2.     叠层结构

应用于激光微加工、测试测量、3D打印、精密加工及光子学对准等行业。

3.     定龙门结构

应用与激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它高端制造等行业。

4.     定制系统

定制气浮运动台,瑞邦精控专注于精密运动平台,倾听用户对产品的应用要求,提供行业解决方案,让用户满意。更多的信息,请咨询我们。