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瑞邦精控气浮转台的特点
发布时间:2022-01-08

气浮转台是把转轴在空气中悬浮起来进行非接触式旋转,这种悬浮是轴承腔内导入的空气压力来实现的,泄压的缝隙特别小,获得了较高的轴向和径向跳动误差。应用于晶圆加工与检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。

瑞邦精控气浮转台的特点:

1.     闭式气浮结构;

2.     精准回零位置;

3.     轴向跳动高达10nm;

4.     手动和电动旋转时轴向和径向跳动误差一致;

5.     高速稳定性;

6.     解决气浮转台抱死的问题;

7.     使用寿命10年以上;

8.     作为A轴可卧式使用。

气浮转台进行了优化设计,气浮轴承表面和创新的预压高刚度,承载能力大,可侧向放置使用,解决气浮抱死的问题。优秀的轴向和径向误差运动,较小的倾角误差,以及由此产生的性能明显优于其它气浮转台和主轴。

气浮转台可定制滑环或气路接头,满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。由于气浮转台径向刚度大,可定制成AC轴,满足曲面微加工或测试的应用,断电旋转和自动旋转时跳动误差保持一致