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气浮平台的意义
发布时间:2021-11-19


随着机械制造技术的快速发展,信息技术、激光技术、计算机技术和微电子技术等的广泛应用,机械加工、制造设备以及检测仪器等的精度要求也逐渐提高。精度的高标准,形成了对机械设备性能的高要求,进而推动了精密检测和加工设备的快速发展。
气浮平台是检测和加工设备的运动执行部分,作为实现精密定位和精确运动,保证系统技术指标的核心组件,在现代航空、计算机、电子制造等科学研究与高新技术领域扮演着重要的角色,特别是在精密制造、光学检测与集成电路的大规模生产等方面有着十分广泛的应用川,故针对其在现代制造业中如此重要的实用价值,世界各工业制造强国都很重视精密和超精密运动工作台的研究与发展。所以,在推动我国从“世界制造大国”转变为“世界制造强国”的道路上,开展精密和超精密运动工作台的研究具有长远的意义。
传统的气浮平台多数采用旋转电机与滚动丝杠相结合,将电机的旋转运动经由丝杠转变为与其相连的工作台的直线运动。这种驱动方式的缺点很明显,如系统传动链较长、结构复杂、摩擦较大等。另外,其承载与导向元件一般采用滑动或滚动导轨,这两类导轨在系统进行低速运动时会出现“爬行”现象,致使运动不稳定,影响系统精度。在精密与高精密测量与制造领域,如何解决上诉问题是提高工作台性能的关键。直线电机驱动的精密运动工作台应时而生,其消除了电动机到工作台的传动环节,实现了零传动链的电机驱动方式。另外,根据部分轻载工作台的应用要求,结合导轨的优劣性能,采用气浮导轨与直线电机相结合的方式,使高速度、高加速度、高精度等技术指标的实现变得更加容易,成为了在精密运动工作台发展中的又一-突破。但是,结合国内外发展现状,我国的气浮平台技术远远落后于国外各工业大国,各种设备多靠进口,自主研发能力较弱,这种情况严重制约着我国的工业技术发展,所以,对直线伺服气浮工作台的研究意义深远。