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解决方案
晶圆测量系统解决方案
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晶圆测量系统解决方案

QFHDS用于晶圆测量:

系统在以生产快速运行时,能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高,精度好,能够快速响应使系统能够快速稳定下来,达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷,满足晶圆每小时生产效率的关键要求。

针对本行业应用,我司研发出QFHDS双轴H形超精密气浮运动台,同时满足许多高精度应用,如半导体加工,光子学,精密扫描,以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备,经过大量的测试,可确保达到一流的精度和稳定性性能。

更详细的行业解决方案,欢迎致电我们共同讨论。