微纳制造包括微制造和纳制造两个方面：

(1)微制造：目前有两种不同的微制造工艺方式，一种是基于半导体制造工艺的光刻技术、LIGA技术、键合技术、封装技术等，这些工艺技术方法较为成熟，但普遍存在加工材料单一、加工设备昂贵等问题，且只能加工结构简单的二维或准三维微机械零件，无法进行复杂的三维微机械零件的加工;另一种是机械微加工，是指采用机械加工、特种加工及其他成形技术等传统加工技术形成的微加工技术，可进行三维复杂曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微细磨削、微细车削、微细铣削、微细钻削、微冲压、微成形等。

(2)纳制造：纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术，包括纳米压印技术、刻划技术、原子操纵技术等。

针对以上状况，AUS-PRECISION研发出一款QFL3D系列三轴精密气浮运动台，由于结构紧凑广泛应用于精密加工行业。由于非接触式运动，高精度是行业内的理想选择。

QFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步进，还是速度稳定性的要求，QFL3D都证明是最理想的解决方案。

产品特点：

1. 非接触式气浮导轨结构

2. 高重复定位精度

3. 纳米级微动步距

4. 组装后精度指标

5. 结构紧凑、高精度

6. 优化线缆管理系统

7. Z轴低摩擦气缸配重

8. 根据需求可定制

根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到最小，各轴也可以定制化，保证精度性能。

经过多年的研究，线缆管理对精指标度有影响，我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。

气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。