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解决方案
微纳加工解决方案
微纳加工解决方案
微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件,以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统的高精度制造和装配加工要求,必须研究和应用微纳制造的技术与方法。微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。


微纳制造包括微制造和纳制造两个方面:

(1)微制造:目前有两种不同的微制造工艺方式,一种是基于半导体制造工艺的光刻技术、LIGA技术、键合技术、封装技术等,这些工艺技术方法较为成熟,但普遍存在加工材料单一、加工设备昂贵等问题,且只能加工结构简单的二维或准三维微机械零件,无法进行复杂的三维微机械零件的加工;另一种是机械微加工,是指采用机械加工、特种加工及其他成形技术等传统加工技术形成的微加工技术,可进行三维复杂曲面零件的加工,加工材料不受限制,包括微细磨削、微细车削、微细铣削、微细钻削、微冲压、微成形等。

(2)纳制造:纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术,包括纳米压印技术、刻划技术、原子操纵技术等。

针对以上状况,AUS-PRECISION研发出一款QFL3D系列三轴精密气浮运动台,由于结构紧凑广泛应用于精密加工行业。由于非接触式运动,高精度是行业内的理想选择。

QFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台,气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择,适用于微纳制造,测试测量和光子学对准等应用,具有体积小,精度高和外观紧凑等特点,无论是微动步进,还是速度稳定性的要求,QFL3D都证明是最理想的解决方案。


产品特点:

1. 非接触式气浮导轨结构

2. 高重复定位精度

3. 纳米级微动步距

4. 组装后精度指标

5. 结构紧凑、高精度

6. 优化线缆管理系统

7. Z轴低摩擦气缸配重

8. 根据需求可定制


根据用户实际应用,可以选择单轴,双轴,三轴等多种结构,如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构,双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到最小,各轴也可以定制化,保证精度性能。

经过多年的研究,线缆管理对精指标度有影响,我们精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。

气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。