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RBDL系列双轴直驱直线台
RBDL系列双轴精密运动台应用于半导体加工及检测、激光微加工、测试测量及光纤对准等领域。
<< 非接触式直驱结构
<< 抗蠕动交叉滚柱导轨
<< 百纳米级定位精度
<< 纳米级微动步距
<< 高动态性能,高精度
<< 结构可接受定制
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背景介绍

RBDL系列是我们研发出的一款百纳米级精度的双轴精密运动台,具有纳米级微动步距,百纳米级定位精度,高动态性能,结构紧凑,应用于半导体加工及检测、激光微加工、测试测量及光纤对准等领域。

直驱结构设计

采用直线直驱电机驱动,非常适合要求高精度的需求,在低速运行时也能保持平稳,在高速状态系也不会产生振动。具有零齿槽、高动态性能及电流噪音小等特点。

抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,工作时比较平稳;交叉排列,多方向受力时比较稳定;平面式叠层式结构紧凑,降低XY轴高度,提升整体精度性能。

光栅闭环反馈

非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑是结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得高重复定位精度。

精密控制

配合业界主导的控制器和驱动器相结合,可提供优异的伺服性能、先进的控制算法,从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。

定制化设计

可定制用于真空环境下的版本。

根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。