背景介绍

RBDL系列是我们研发出的一款百纳米级精度的双轴精密运动台，具有纳米级微动步距，百纳米级定位精度，高动态性能，结构紧凑，应用于半导体加工及检测、激光微加工、测试测量及光纤对准等领域。

直驱结构设计

精密运动台采用直线直驱电机驱动，非常适合要求高精度的需求，在低速运行时也能保持平稳，在高速状态系也不会产生振动。具有零齿槽、高动态性能及电流噪音小等特点。

抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，工作时比较平稳；交叉排列,多方向受力时比较稳定；平面式叠层式结构紧凑，降低XY轴高度，提升整体精度性能。

光栅闭环反馈

非接触式光栅闭环反馈，优化考虑热膨胀的设计，这种紧凑是结构设计，在有限的空间内具有鲁棒性和准确度，获得高重复定位精度。

精密控制

配合业界主导的控制器和驱动器相结合，可提供优异的伺服性能、先进的控制算法，从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。

定制化设计

可定制用于真空环境下的版本。

根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。