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RBN150系列三轴精密运动台
RBN150系列三轴精密运动台应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。
<< 非接触式直驱结构
<< 抗蠕动交叉滚柱导轨
<< 纳米级微动步距
<< 百纳米级定位精度
<< 高动态性能,高精度
<< 结构可接受定制
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背景介绍

RBN150系列是一款百纳米级精度的三轴精密运动台,具有纳米级微动步距,百纳米级定位精度,高动态性能,结构紧凑,应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。


直驱结构设计

采用非接触式直线直驱电机驱动,非常适合要求高精度的需求,直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。

抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,工作时比较平稳;交叉排列,多方向受力时比较稳定;三片叠层式结构紧凑,减小阿贝误差的影响。


光栅闭环反馈

非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑是结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得高重复定位精度。


精密控制

配合业界上主导的控制器和驱动器相结合,可提供优异的伺服性能、先进的控制算法,从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。


定制化设计

可定制用于真空环境下的版本。根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。


型号

A

B

C

RBN150-50-50-35

180 mm

180 mm

311 mm

RBN150-50-50-50

180 mm

180 mm

346 mm

RBN150-100-100-35

230 mm

230 mm

311 mm

RBN150-100-100-50

230 mm

230 mm

346 mm