背景介绍
RBN150系列是一款百纳米级精度的三轴精密运动台,具有纳米级微动步距,百纳米级定位精度,高动态性能,结构紧凑,应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。
直驱结构设计
精密运动台采用非接触式直线电机驱动,非常适合要求高精度的需求,在低速运行时也能保持平稳,在高速状态系也不会产生振动。直线电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪音小等特点。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,工作时比较平稳;交叉排列,多方向受力时比较稳定;三片叠层式结构紧凑,减少阿贝误差的影响。
光栅闭环反馈
非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑是结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得高重复定位精度。
精密控制
配合业界上主导的控制器和驱动器相结合,可提供优异的伺服性能、先进的控制算法,从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。
定制化设计
可定制用于真空环境下的版本。根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。
型号 |
A |
B |
C |
RBN150-50-50-35 |
180 mm |
180 mm |
311 mm |
RBN150-50-50-50 |
180 mm |
180 mm |
346 mm |
RBN150-100-100-35 |
230 mm |
230 mm |
311 mm |
RBN150-100-100-50 |
230 mm |
230 mm |
346 mm |