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RBDLA系列双轴中空精密运动台
RBDLA系列双轴中空精密运动台应用于晶圆检测、CCD成像、封装检测等其它高端制造等行业。
产品特点
<< 叠层式布局,紧凑型中空结构
<< 分别采用双直线电机和导轨
<< 纳米级微动步距
<< 优化后的高动态性能,高精度
<< 集成式线缆管理
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背景介绍

RBDLA系列是叠层紧凑的中空外形结构的精密运动台,对于需要通孔,并且需要高动态性能和微米级直线度的双面LED晶圆加工及检测,以及高精度测量应用,RBDLA系列的设计能满足要求。同时使用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。


高精度设计

精密运动台的直线度和平面度在应用中至关重要,RBDLA系列提供了优越的性能。采用高精度滚柱导轨和精密研磨的加工表面,获得较高的直线度和平面度。应用双直线电机驱动和导轨,满足很高的推力和速度,加速度可达4g。

叠层紧凑的中空外形结构,留出最大的工作空间,并将总高度保持在最小,光栅反馈接近于工作表面,组装后高重复定位精度,通过这种优化设计,从而获得卓越的性能和较低成本。


双驱动结构

非接触式提供了高速和准确的定位,比滚珠丝杆结构的位移台在性能有了较大的提升,电机免维护和长寿命使用。 先进的交叉解耦控制算法,保证了双电机的运行的一致性。


集成式线缆管理

优化管线弯曲半径,防止动作过程中影响到运动台的性能。使用高质量的无尘链拖线缆,尽量增长使用寿命,减少停机时间,同时设备外观更整洁,创造个良好的作业环境,是洁净室内使用的理想选择。





型号

A

B

C

RBDLA-300-300

894 mm

795 mm

147 mm

RBDLA-400-400

994 mm

895 mm

147 mm

RBDLA-500-500

1094 mm

995 mm

147 mm