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RBN五轴精密气浮运动台
五轴精密运动台用于激光微加工。
<< 直线轴行程200mm*200mm*150mm (XYZ)
<< 旋转轴行程±90°*360°(AB轴)
<< XYZ交叉滚柱导轨,纳米级定位纹波
<< AB轴气浮转台,亚微米跳动误差
<< 优化线缆管理系统
<< 结构、行程可定制
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XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向,直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈,XY轴平面式结构,最大限度降低高度,减小系统误差影响;

Z轴直驱力矩电机驱动,交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,获得纳米级定位纹波;

AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈,闭式气浮结构,对结构进行优化设计,气浮轴承表面和创新的预压高刚度,侧向放置承载能力大,解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向误差运动和倾角误差;

大理石作为基座,因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质最有保障,结构尺寸按客户的要求做最终设计