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产品中心
五轴精密线轨运动台
五轴精密线轨运动台用于晶圆加工、检测
产品特点
<< 行程800mm*200mm*12.5mm*1°*15mm (XYZCEpin)
<< 直驱结构,高精度
<< 结构紧凑,降低工作点高度
<< 优化线缆管理系统
<< 结构、行程可定制
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XY轴采用双直线电机驱动,滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,X轴双驱龙门结构;

Z轴采用直驱力矩电机驱动,交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,平升Z轴结构;

C轴采用力矩电机驱动,精密轴环导向及光栅尺闭环反馈,行程 1度用于角度调整;

Epin采用音圈电机驱动,光栅尺闭环反馈,用于晶圆切换;

ZC轴内置XY轴中,结构紧凑,降低工作点的高度,降低阿贝误差对系统精度的影响,应用于晶圆加工及检测等领域。

济南青大理石作为基座,大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质最有保障。大理石做模态分析,结构尺寸,依据客户的要求做最终设计。