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RBXG-300-300-360R三轴运动台
三轴精密运动台应用于晶圆加工。
产品特点
<< XYC轴行程300mm x 300mm x 360°
<< 三轴直驱电机驱动
<< 高精度指标
<< 优化线缆管理系统
<< 结构、行程可定制
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产品简介

XY轴采用直线电机,滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成,十字叠层安装到大理石基座上,三片式结构尽量降低阿贝误差对系统精度的影响。

C轴由直驱力矩电机驱动,精密轴承导向及圆光栅尺闭环反馈组成,偏平结构,配置真空吸盘,从结构设计上防止真空气管围绕转台发生缠绕,适用于晶圆加工领域。

用大理石作为基座,大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质最有保障。大理石做模态分析,结构尺寸,依据客户的要求做最终设计。