产品简介

XY轴采用直线电机，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成，十字叠层安装到大理石基座上，三片式结构尽量降低阿贝误差对系统精度的影响。

C轴由直驱力矩电机驱动，精密轴承导向及圆光栅尺闭环反馈组成，偏平结构，配置真空吸盘，从结构设计上防止真空气管围绕转台发生缠绕，适用于晶圆加工领域。

用大理石作为基座，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。大理石做模态分析，结构尺寸，依据客户的要求做最终设计。