XY轴采用双直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，双驱龙门结构。

Z轴采用直驱力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，平升Z轴结构。

C轴采用直驱力矩电机驱动，精密轴环导向及光栅尺闭环反馈，可360度旋转。

ZC轴内置XY轴中，有效降低工作点的高度，减小阿贝误差的影响，应用于晶圆加工及检测等领域。

济南青大理石作为基座，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。大理石做模态分析，结构尺寸，依据客户的要求做最终设计