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RBXG-800-200-12D5-360R四轴运动台
四轴精密线轨运动平台应用于晶圆加工及检测等领域。
产品特点
<< 行程800mm*200mm*12.5mm*360° (XYZC)
<< 直驱线轨结构
<< 单向重复定位精度±50nm
<< 优化线缆管理系统
<< 结构、行程可定制
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XY轴采用双直线电机驱动,滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,双驱龙门结构。

Z轴采用直驱力矩电机驱动,交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,平升Z轴结构。

C轴采用直驱力矩电机驱动,精密轴环导向及光栅尺闭环反馈,可360度旋转。

ZC轴内置XY轴中,有效降低工作点的高度,减小阿贝误差的影响,应用于晶圆加工及检测等领域。

济南青大理石作为基座,大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质最有保障。大理石做模态分析,结构尺寸,依据客户的要求做最终设计

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