京公网安备 11011302003519号

产品中心
QFHDS系列三轴超精密运动台
QFHDS三轴超精密运动台应用于晶圆加工、检测,微纳加工等行业。
产品特点
<< 气浮导轨,超性能精度
<< 平面式气浮,避免阿贝误差影响
<< 高速,快速的整定时间
<< 龙门式双驱结构,承载能力强
<< Z轴定位抖动优于50nm
<< 可选光栅或激光尺位置反馈
<< 优化后的线缆管理系统
立即咨询

背景介绍

随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能提高,QFHDS系列三轴超精密运动台,XY轴平面式气浮结构,Z轴交叉滚柱结构。用于半导体加工、检测,微纳加工等行业。


结构优势

XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,不存在因叠层引起的阿贝误差,此结构提升了动态跟踪误差,高速响应频率及位置稳定性,开发的气浮轴承补偿方法,提高了刚性和负载能力,以满足高动态响应的要求,可实现快速运动和非常快的位置整定。

Z轴交叉滚柱导轨结构,安装到龙门横梁上,亚微米级精度,定位抖动优于50nm。


直驱设计

采用无铁芯直线电机驱动,实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面,以提高直线度、平面度和摆角误差等。


线缆管理

优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作。


其他

根据应用,可安装旋转台,倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺闭环反馈,提升系统精度性能




型号

A

B

C

QFHDS-300-300

1370 mm

1350 mm

1375 mm

QFHDS-400-400

1470 mm

1450 mm

1425 mm

QFHDS-500-500

1570 mm

1550 mm

1525 mm