背景介绍

随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能提高，QFHDS系列三轴超精密运动台，XY轴平面式气浮结构，Z轴交叉滚柱结构。用于半导体加工、检测，微纳加工等行业。

结构优势

XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，不存在因叠层引起的阿贝误差，此结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。

Z轴交叉滚柱导轨结构，安装到龙门横梁上，亚微米级精度，定位抖动优于50nm。

直驱设计

采用无铁芯直线电机驱动，实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面，以提高直线度、平面度和摆角误差等。

线缆管理

优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作。

其他

根据应用，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺闭环反馈，提升系统精度性能