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产品中心
QFL五轴精密气浮运动台
五轴精密气浮运动平台用于精密加工、检测等应用。
产品特点
<< 直线轴行程200mm*200mm*100mm (XYZ)
<< 旋转轴行程110°*360°(AB轴)
<< XYAB直驱气浮结构,高精度
<< Z轴交叉滚柱导轨,纳米级定位微波
<< 优化线缆管理系统
<< 结构、行程可定制
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XY轴用气浮导轨导向,直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈,十字叠层结构,X轴为底轴,永磁预载气浮结构,Y轴为上轴,闭式气浮导轨;

AB轴气浮导轨、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈,闭式气浮结构,对结构进行优化设计,气浮轴承表面和创新的预压高刚度,侧向放置承载能力大,解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向误差运动和倾角误差,使AB轴正交1~5arc sec,轴向线重合度优于5μm;

Z轴直驱力矩电机驱动,交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,获得纳米级定位纹波;

济南青大理石作为基座,大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质最有保障。大理石做模态分析,结构尺寸依据客户的要求做最终设计。