京公网安备 11011302003519号

产品中心
QFHDS系列双轴平面式气浮运动台
超精密双轴平面式气浮运动台用于晶圆加工及检测。
产品特点
<< 气浮导轨,超性能精度
<< 平面式气浮,避免阿贝误差影响
<< 高速,快速的整定时间
<< 龙门式双驱结构,承载能力强
<< 可选光栅或激光尺位置反馈
<< 优化后的线缆管理系统
立即咨询

背景介绍

QFHDS系列双轴平面式气浮运动台,采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提供了最高动态性能。用于晶圆加工、检测等行业。

结构优势

平面式气浮结构设计,使XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,不存在因叠层引起的阿贝误差,此结构提升了动态跟踪误差,高速响应频率及位置稳定性,开发的气浮轴承补偿方法,提高了刚性和负载能力,以满足高动态响应的要求,可实现快速运动和非常快的位置整定。


采用无铁芯直线电机驱动,实现超平稳运动。交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步。同时电机是隔热的,对于高占空比应用,电机可选水冷或气冷,尽量避免因电机发热引起的误差。


精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作。


根据应用,可安装旋转台,摆角台或晶圆装卸用的夹具等。可选用激光尺闭环反馈,提升系统精度性能

外形尺寸定制,请联系我们。