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QFL系列三轴精密运动台
XY轴为精密气浮运动台,Z轴为线轨平升结构,紧凑的三轴结构应用于精密加工,测试测量及半导体行业。
产品特点
<< 直驱式结构
<< 结构紧凑、精度高
<< Z轴大行程平升结构
<< 光栅尺闭环反馈
<< 优化后的线缆管理系统
<< 根据需求可定制
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背景介绍

XY轴为精密气浮运动台,Z轴为线轨平升结构,紧凑的三轴结构应用于加工,测试测量及半导体行业。由于非接触式移动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。


结构优势

XY轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统,确保免维护运行。因为运动元件间没有机械接触,随着时间的推移,不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮导轨不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。

RBSV系列直驱结构,直接移动负载,不是蜗轮蜗杆结构传动,在一个长行程的移动范围,保持尽可能短的高度,优化了Abbe误差,有助于提高整体精度性能。采用抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向,为提升直线度、Pitch/Roll/Yaw指标提出了创新解决方案。


线缆管理

精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作。


定制化

XY轴可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨,提升精度性能。行程可接受定制。


型号

A

B

C

QFL100-50-50-20

379 mm

379 mm

228 mm

QFL100-100-100-20

429 mm

429 mm

228 mm