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QFL3D系列三轴气浮运动台
QFL3D系列三轴气浮运动台应用于精密加工,测试测量,扫描、半导体及光子学对准等行业。由于非接触式运动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
产品特点
<< 非接触式气浮导轨结构
<< 高重复定位精度
<< 纳米级微动步距
<< 组装后精度指标
<< 结构紧凑、精度高
<< 优化线缆管理系统
<< Z轴低摩擦气缸配重
<< 根据需求可定制
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背景介绍

QFL3D系列是目前我司制造的性能卓越,结构紧凑的三轴气浮运动台。广泛应用于精密加工,测试测量,扫描、半导体及光子学对准等行业。由于非接触式运动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。


直线台设计

QFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台,气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择,适用于微纳制造,测试测量和光子学对准等应用,具有体积小,精度高和外观紧凑等特点,无论是微动步,还是速度稳定性的要求,QFL3D都证明是最终的解决方案。


定制化设计

根据用户实际应用,可以选择单轴,双轴,三轴等多种结构,如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构,双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到最小,各轴也可以定制化,保证精度性能。


线缆优化管理

经过多年的研究,线缆管理对精指标度有影响,我们精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。


洁净室兼容性

气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。


型号

A

B

C

QFL3D-50-50-25

377 mm

328 mm

405.5 mm

QFL3D-100-100-25

427 mm

378 mm

405.5 mm

QFL3D-150-150-25

477 mm

428 mm

405.5 mm