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QFR系列气浮转台
QFR系列气浮转台应用于晶圆检测及加工、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。
产品特点:
<< 闭式气浮轴承结构
<< 直驱驱动,零齿槽效应
<< 高速度稳定性
<< 纳米级跳动误差
<< 低噪音结构设计
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背景介绍

QFR系列气浮旋转台在低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。QFR的设计满足晶圆检测及加工、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。


密封式设计

对QFR直驱旋转台进行了优化设计,使工作台面降到,这种设计结构有效的降低了工作点的高度,减少了因与其它轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重,不仅有较低的轴向和径向端跳误差,而且倾角误差比较小,由此产生的面误差明显优于其它气浮转台,有利于各种应用。


非接触式结构

QFR采用无齿槽无刷电机和气浮轴承,较大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计,以的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用,跳动误差在≤100nm.


高精度性能

气浮转台采用圆光栅反馈,先进的驱动控制对光栅信号细分,分辨率0.01arc sec。


定制化设计

气浮转台可安装滑环,用于测试速度稳定性,MEMS和惯性导航等应用。



型号

A

B

C

D

L1

L2

d1

d2

d3

d4

D5

QFR100

120

120

95.5

Φ88

82

82

Φ40

Φ50

Φ60

Φ70

-

QFR200

220

220

95.5

Φ188

182

182

Φ50

Φ90

Φ130

Φ170

-

QFR300

348.5

320

125

Φ284

270

270

Φ50

Φ100

Φ150

Φ200

Φ250