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背景介绍
QFR系列气浮旋转台在低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。QFR的设计满足晶圆检测及加工、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。
密封式设计
对QFR直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，减少了因与其它轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台，有利于各种应用。
非接触式结构
QFR采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，较大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用，跳动误差在≤100nm.
高精度性能
气浮转台采用圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率0.01arc sec。
定制化设计
气浮转台可安装滑环，用于测试速度稳定性，MEMS和惯性导航等应用。
|
型号 |
A |
B |
C |
D |
L1 |
L2 |
d1 |
d2 |
d3 |
d4 |
D5 |
|
QFR100 |
120 |
120 |
95.5 |
Φ88 |
82 |
82 |
Φ40 |
Φ50 |
Φ60 |
Φ70 |
- |
|
QFR200 |
220 |
220 |
95.5 |
Φ188 |
182 |
182 |
Φ50 |
Φ90 |
Φ130 |
Φ170 |
- |
|
QFR300 |
348.5 |
320 |
125 |
Φ284 |
270 |
270 |
Φ50 |
Φ100 |
Φ150 |
Φ200 |
Φ250 |
