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背景介绍
QFR-NOTE系列气浮转台具有高定位精度、速度稳定性和纳米级跳动误差，有效载荷能力和出色的径向和轴向跳动产品满足晶圆加工与检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。
结构优势
对QFR-NOTE系列气浮转台进行了优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，承载能力大，可侧向放置使用，解决气浮抱死的问题。优秀的轴向和径向误差运动，较小的倾角误差，以及由此产生的性能明显优于其它气浮转台和主轴，有利于要求特殊平面性能的应用。
QFR-NOTE系列采用无刷直驱电机驱动，电机先进的磁路设计，产生高转矩输出和低热量产生，零齿槽效应和无扭矩纹波，使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。
气浮转台圆光栅闭环反馈，运用国际上先进的驱动控制器，分辨率达0.01arc sec，结构设计上，气浮转台能精准回到零点位置，圆光栅尺可选增量式或绝对式。
气浮转台可定制滑环或气路接头，满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。
由于气浮转台径向刚度大，可定制成AC轴，满足曲面微加工或测试的应用，断电旋转和自动旋转时跳动误差保持一致。
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型号 |
A |
B |
C |
D |
E |
F |
L1 |
L2 |
d1 |
d2 |
|
QFR-NOTE100 |
166.6 |
136 |
120 |
Φ66 |
60 |
50 |
115 |
115 |
Φ30 |
Φ50 |
|
QFR-NOTE200 |
220 |
200 |
120 |
Φ145 |
90 |
90 |
165 |
165 |
Φ60 |
Φ100 |
|
QFR-NOTE300 |
320 |
300 |
150 |
Φ280 |
150 |
150 |
265 |
265 |
Φ100 |
Φ265 |
