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QFR-NOTE系列气浮转台
QFR-NOTE系列气浮转台应用于晶圆检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
产品特点
<< 闭式气浮轴承结构
<< 直驱零齿槽效应
<< 高速度稳定性
<< 精准回零点位置
<< 手动和自动旋转跳动误差一致
<< 解决气浮抱死问题
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背景介绍

QFR-NOTE系列气浮转台具有高定位精度、速度稳定性和纳米级跳动误差,有效载荷能力和出色的径向和轴向跳动产品满足晶圆加工与检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。


结构优势

对QFR-NOTE系列气浮转台进行了优化设计,气浮轴承表面和创新的预压高刚度,承载能力大,可侧向放置使用,解决气浮抱死的问题。优秀的轴向和径向误差运动,较小的倾角误差,以及由此产生的性能明显优于其它气浮转台和主轴,有利于要求特殊平面性能的应用。

QFR-NOTE系列采用无刷直驱电机驱动,电机先进的磁路设计,产生高转矩输出和低热量产生,零齿槽效应和无扭矩纹波,使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。

气浮转台圆光栅闭环反馈,运用国际上先进的驱动控制器,分辨率达0.01arc sec,结构设计上,气浮转台能精准回到零点位置,圆光栅尺可选增量式或绝对式。

气浮转台可定制滑环或气路接头,满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。

由于气浮转台径向刚度大,可定制成AC轴,满足曲面微加工或测试的应用,断电旋转和自动旋转时跳动误差保持一致。


型号

A

B

C

D

E

F

L1

L2

d1

d2

QFR-NOTE100

166.6

136

120

Φ66

60

50

115

115

Φ30

Φ50

QFR-NOTE200

220

200

120

Φ145

90

90

165

165

Φ60

Φ100

QFR-NOTE300

320

300

150

Φ280

150

150

265

265

Φ100

Φ265