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ZKXG双轴真空运动台
ZKXG双轴真空运动台适用于真空度10^-7 Torr
产品特点
<< 零部件兼容真空度
<< 非接触式直驱结构
<< 抗蠕动真空交叉滚柱导轨
<< 亚微米定位精度
<< 结构可接受定制
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背景介绍

ZKXG系列是研发出的一款百纳米级精度的双轴真空运动台,具有纳米级微动步距,百纳米级定位精度,高动态性能,结构紧凑,适用于高真空10^-7 Torr环境下应用。


结构优势

采用高真空直线电机驱动,非常适合要求高精度的需求,在低速运行时也能保持平稳,在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪音小等特点。

抗蠕动真空交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,工作时比较平稳;交叉排列,多方向受力时比较稳定。十字叠层结构,使整体结构更紧凑。真空润滑脂涂抹在真空导轨上,不易挥发。

尽可能的消除盲孔,在盲孔和螺栓处有通孔,保证安装孔开放式结构。结构件选用航空铝合金件,清洗加工表面,高低温热处理消除加工应力,确保使用的长期稳定性。

使用氟橡胶材质的垫圈;螺钉中心带通孔,结构件消除盲孔,方便通风排气;轴侧面无密封设计,方便通风排气;线缆外表为特氟龙材质,适用真空环境;提供真空腔外的配套连接线缆。


光栅闭环反馈

适用于真空环境下的非接触式光栅闭环反馈,热膨胀系数0.75±0.35μm/m/°C,配合结构设计,获得亚微米重复定位精度。


定制化设计

根据用户需求,可定制化设计。